陈垚

作品数：2被引量：4H指数：1
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供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：微机械器件微机械内应力合金电镀热膨胀系数更多>>
发文领域：机械工程化学工程更多>>
发文期刊：《功能材料与器件学报》《金属学报》更多>>
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用于微机械器件的Fe-Ni合金电镀沉积膜的性能被引量：2
《金属学报》2000年第5期525-529,共5页陈垚 张轩雄 熊幸果 王渭源 
结合Ｓｉ体微机械技术和电镀技术加工出Ｆｅ－Ｎｉ／Ｃｕ／Ｓｉ复合悬臂梁，其中Ｆｅ－Ｎｉ膜厚３μｍ，Ｃｕ膜厚０．２μｍ．利用共振法首次测出在１．３Ｐａ气压下，复合悬臂梁中Ｆｅ－Ｎｉ（Ｆｅ６４，Ｎｉ３６；质量分数，％，下同...
关键词：微机械 Fe-Ni合金电镀沉积膜 内应力 热膨胀系数 
用于微机械器件的电镀Fe-Ni合金薄膜的研究被引量：2
《功能材料与器件学报》1999年第2期147-151,共5页陈垚 王渭源 
本文考察了非常规Ｆｅ－Ｎｉ合金电镀中，溶液浓度、电流密度、ｐＨ值和温度等因素对电镀的影响。实验结果表明，Ｆｅ－Ｎｉ合金电镀的异常性是由于Ｆｅ（ＯＨ）２对铁离子和镍离子的还原反应有着不同的阻碍作用和阻碍程度。用Ｘ射线平...
关键词：合金电镀 薄膜 异常电镀 内应力 微机械 
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