微电子机械系统的研究进展  

Development of MEMS Technique and Devices

作　　者：李炳乾[1] 朱长纯[1] 刘君华[1] 

机构地区：[1]西安交通大学电信学院

出　　处：《国外电子元器件》2001年第1期4-9,共6页International Electronic Elements

基　　金：国家自然科学基金;国家教育部博士点基金;教育部重点实验室和西安交通大学学科建设重点项目资助

摘　　要：本文从微电子机械系统 (MEMS)的基本加工技术和MEMS器件等方面介绍了MEMS的发展过程;综述了国内外MEMS加工技术 ,特别是新型MEMS器件与系统方面的最新研究进展 ,介绍了欧美日等发达国家和我国为MEMS的发展所作的努力 ,提出了“只有产业界及时介入才是中国MEMS研究的唯一出路”。

关 键 词：MEMS 微机械器件 微电子 微电子机械系统 机械加工 

分 类 号：TP271.4[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]