微机电系统的进展分析与研究  

作　　者：刘晓斌[1] 

机构地区：[1]兰州工业高等专科学校,甘肃兰州730050

出　　处：《机械研究与应用》2002年第1期72-75,共4页Mechanical Research & Application

摘　　要：系统分析了微机电系统的概念、特点及国内外先进的微机电系统的典型器件和典型系统 ,微机电有别于其它制造业的独特的加工工艺 ,以及微机电系统在当今社会的各个领域的广泛应用。介绍了我国在发展微机电系统所做的努力。提出我国必须走研究与应用并重的道路 ,使微机电系统的研究走向产业化 。

关 键 词：微机电系统 微机械器件 加工工艺 产业化 

分 类 号：TH－39[机械工程]