类金刚石膜的性质和制备及应用  

Properties,Preparation and Applications of Diamond-like Carbon Films

作　　者：张敏 程发良[1] 姚海军[1] 

机构地区：[1]东莞理工学院生物传感器研究中心,广东东莞523106

出　　处：《表面技术》2006年第2期4-6,9,共4页Surface Technology

基　　金：国家自然科学基金(20375008;20475001);广东省自然科学基金(32167);广东省科技攻关项目(2004B33301024);广东省教育厅自然科学研究项目(Z03091)资助项目

摘　　要：介绍了类金刚石膜的性能、制备方法以及应用。类金刚石膜(DLC)是由sp3键组态的碳和sp2键组态的碳混合组成的碳材料,由于具有与金刚石膜(DF)相似的性能———优异的光学特性、机械特性、电学特性和化学特性,同时现行制备方法(化学气相沉积,物理气相沉积等)相对容易实现,并且其产品已经应用到光学、医学、机械、电子等多个领域,因此引起人们极大兴趣。The properties, the applications and the deposition methods of DLC film are briefly discussed. Diamond-like carbon film （ DLC ） is a carbon material that consists of sp^3 hybrid orbital and sp^2 hybrid orbital phases. Because DLC film has excellent mechanical, electric, optical, thermal, biocompatible properties which is similar to diamond film （DF） , meanwhile the fabrication of DLC film is easy to be achieved; Now the main preparation methods are PVD, CVD and etc.. People have great interests in it. Now DLC film has been used in optics, medicine, mechanism, electron fields etc ..

关 键 词：类金刚石膜(DLC) 杂化轨道 性质 应用 制备 沉积 

分 类 号：O484.4[理学—固体物理] TG174.444[理学—物理]