JM－2型背照式PIN光电探测器对位显微监视系统  

JM-2 microscopic aligning monitor system for back-illuminated PIN photodetector

作　　者：吕家梅[1] 

机构地区：[1]重庆光电技术研究所

出　　处：《半导体光电》1996年第3期278-279,共2页Semiconductor Optoelectronics

摘　　要：文章介绍了ＪＭ－２型背照式ＰＩＮ光电探测器对位显微监视系统（以下简称ＪＭ－２型对位系统）的工作原理，以及在烧结工艺上的应用和实验结果，其工艺精度可达０．The operating principle of JM-2 microscopic aligning monitor system for back-illuminated PIN photodetectors,its application and experimental results in sintering technology are described in this paper.The process accuracy is up to 0.05 mm.

关 键 词：显微监视系统 PIN光电探测器 

分 类 号：TN360.5[电子电信—物理电子学]