耦合状态等离子体高频电源特性  

作　　者：谭凯[1] 曹琪[1] 杜凯[1] 

机构地区：[1]哈尔滨学院理工学院,黑龙江哈尔滨150086

出　　处：《绥化学院学报》2006年第2期178-179,共2页Journal of Suihua University

基　　金：黑龙江省教育厅2004年科学技术研究项目(10543063)

摘　　要：根据实验,观察耦合状态等离子体高频电源的工作特性,讨论了在装置中形成的等离子体,对装置的反作用与装置固有条件的综合效果,制约着等离子体的行为和量子效应。

关 键 词：射频等离子体 高频等离子体电源 飞行时间谱仪 射频催化 虚拟非对称晶格 

分 类 号：O452[理学—无线电物理]