射频等离子体

作品数：147被引量：428H指数：12
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射频等离子体去胶及表面清洗工艺技术研究
《真空》2025年第2期56-61,共6页田文娟 贺晓彬 焦斌斌 
简要介绍了等离子去胶和清洗的化学、物理变化过程;系统分析了决定去胶效果和去胶均匀性的因素,并给出了相应的方案和最优参数匹配原理,通过实验研究了不同工艺条件下微米级及纳米级Ar-F光刻胶的最优去除工艺参数;探讨了等离子体清洗反...
关键词：等离子体 干法去胶 去胶速率 去胶均匀性 表面改性 
外界磁场和天线构型对射频等离子体微放电的影响研究
《核聚变与等离子体物理》2025年第1期117-124,共8页张金恒 苌磊 杨鑫 周海山 罗广南 
国家自然科学基金(12105324);中央高校基本科研业务费前沿科学与“卡脖子”技术研究子项(2022CDJQY-003);重庆市留学人员回国创业创新支持计划重点项目(CX2022004)。
利用HELIC程序,研究了磁场和天线构型对射频微放电的影响。在天线方位角模数m=0和m=1两类典型模式下,外界磁场总是通过影响射频电场的分布影响天线的功率沉积分布,其中m=1的半螺旋(half helix)天线在达到临界磁场(10mT)后,轴向上的功率...
关键词：临界磁场效应 射频等离子体 天线构型 功率沉积 电磁波传播 
等离子体加热单晶体生长炉外部换热器设计研究
《辽宁化工》2025年第1期105-110,共6页徐留茜 毕孝国 
针对射频等离子体单晶体生长炉的射频等离子体反应器壁面温度高并且接通射频电源的导电线圈长期暴露于工作空间会存在的安全问题,设计研究出了新型螺旋缠绕管换热器。首先理论计算螺旋缠绕管换热器的主要结构参数,然后利用有限元分析方...
关键词：螺旋缠绕管换热器 有限元分析方法 数值模拟 射频等离子体单晶体生长炉 
用于吸气式电推进系统的射频等离子体推力器实验测试
《航空学报》2024年第21期207-217,共11页郑鹏 吴建军 张宇 钟宇轩 
国家自然科学基金(T2221002);湖南省自然科学基金(2024JJ5405)。
吸气式电推进系统能够摄取稀薄大气作为电推力器的推进工质,有望在不从地面携带推进剂的条件下,满足超低轨道飞行器长期在轨运行期间的推进动力需求。基于感性耦合等离子体源,添加了物理喷管和附加增强磁场,设计了一种用于吸气式电推进...
关键词：超低轨道 感性耦合等离子体 增强磁场 推力 比冲 
射频等离子体改性制备S_(2)O_(2)-8/SnO_(2)-Al_(2)O_(3)固体超强酸催化剂的研究
《现代化工》2024年第7期139-144,共6页张旭东 李秀兰 朱长辉 田保河 朱文超 
四川省科技计划资助项目(2022YFG0289);自贡市科技局重点科技计划项目(2018YYJC08);四川轻化工大学人才引进项目(2018RCL12)。
采用低温陈化法制备S_(2)O_(2)-8/SnO_(2)-Al_(2)O_(3)固体超强酸催化剂,利用射频等离子体技术对其进行改性后催化L-酪氨酸与甲醇的酯化反应。利用Hammett指示剂法、XRD、HRTEM、BET、FT-IR、Py-IR和NH_(3)-TPD等对改性前后的催化剂进...
关键词：固体超强酸 S_(2)O_(2)-8/SnO_(2)-Al_(2)O_(3) 射频等离子体 酯化反应 
基于NS-DSMC耦合方法与Langmuir探针诊断的射频等离子体氧化过程中等离子体分布
《稀有金属材料与工程》2024年第4期988-993,共6页刘万锁 王志宝 王庆 蔺增 
National Natural Science Foundation of China(51775096);Chinese Academy of Sciences WEGO Research Development Plan([2007]006);Fundamental Research Funds for the Central Universities,China(N2003009)。
采用Navier-Stokes方程和直接模拟蒙特卡罗方法相结合的方式模拟了反应腔内的气体流动,并结合Langmuir探针检测设备分析了气体流速与等离子体密度的关系。结果表明,流体均匀性对等离子体的均匀性有显著影响。在6.5 Pa的压力下,等离子体...
关键词：等离子体氧化 等离子体诊断 NS-DSMC方法 LANGMUIR探针 等离子体均匀性 
射频等离子体改性PTFE表面液滴撞击接触起电对润湿性的影响被引量：2
《中国表面工程》2023年第6期145-154,共10页李昱鹏 孟祥任 刘玉霞 霍磊 雷明凯 STARINSKIY Sergey V TEREKHOV Vladimir 
国家自然科学基金(51975086,52111530043,U21B2078);中央高校基本科研业务费(DUT22LAB107)资助项目。
液滴撞击固体表面是自然界的常见现象,研究超疏水表面的液滴撞击对其润湿性的影响,对于超疏水性材料的潜在应用具有重要的科学意义。采用3、10、20 min氧等离子体处理(OPT)和1 min八氟环丁烷等离子体聚合沉积(PPD)的等离子体方法改性聚...
关键词：超疏水性表面 液滴撞击 接触起电 聚四氟乙烯(PTFE) 接触角 
射频等离子体辅助制备S_(2)O_(8)^(2-)/CeO_(2)固体超强酸催化剂的研究被引量：1
《现代化工》2023年第9期189-193,199,共6页王凯强 张旭东 许德鑫 黄邦斗 朱长辉 田保河 李秀兰 朱文超 
以商用CeO_(2)为载体,采用过量浸渍法浸渍(NH_(4))_(2)S_(2)O_(8)溶液,用射频等离子体以辉光放电形式辅助制备了S_(2)O_(8)^(2-)/CeO_(2)-RF固体超强酸催化剂。利用XRD、SEM、BET、FT-IR、Py-IR等对催化剂的孔结构、键结合方式、微观形...
关键词：射频等离子体 固体超强酸催化剂 氧化铈 酯化反应 色氨酸甲酯 
射频等离子体探针诊断及尘埃晶格观测虚拟仿真实验设计
《实验室研究与探索》2022年第12期202-206,共5页董其毅 王华中 张莹莹 刘永新 宋远红 于长水 
国家自然科学基金青年基金项目(11705017);国家本科教学工程项目(ZL2020115);辽宁省普通高等教育本科教学改革研究项目(2021-10141-37);辽宁省大学生创新创业训练计划项目(20211014111010)。
针对射频等离子体探针诊断及尘埃晶格观测真实实验中激光和射频辐射的潜在危险大、设备成本高、仪器精密易损等实际教学问题,将虚拟仿真技术、前沿科研成果深度融入本科教学当中,建设了射频等离子体探针诊断及尘埃晶格观测虚拟仿真实验...
关键词：射频等离子体 尘埃晶格 虚拟仿真技术 应用物理专业实验 
等离子体活性水对不结球白菜出苗和幼苗生长发育的影响被引量：1
《长江蔬菜》2022年第14期14-16,共3页邹宏宇 侯喜林 
南京市科技计划项目(202109022);江苏现代农业(蔬菜)产业技术体系叶菜类创新团队项目(JATS[2020]397)。
低温等离子体在实际作用时可分为直接作用和间接作用。直接作用即使低温等离子体直接在被处理物质的表面安全无害地发挥作用。由于等离子体的低温特性,即使作用于对热比较敏感的物质也不会造成损害[1]。间接作用即以水作为媒介,将等离...
关键词：等离子体作用 低温等离子体 射频等离子体 活性水 等离子体处理 间接作用 活性物质 低温特性 
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