云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- LANGMUIR探针

LANGMUIR探针: 作品数：50被引量：126H指数：6; 导出分析报告; 相关领域：理学更多>>; 相关作者：陈俊芳唐恩凌曹政蒋百灵余云鹏更多>>; 相关机构：大连理工大学中国科学技术大学北京理工大学华南师范大学更多>>; 相关期刊：《北京大学学报（自然科学版）》《电工技术学报》《华南师范大学学报（自然科学版）》《核电子学与探测技术》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金广东省自然科学基金中国工程物理研究院科技基金国家高技术研究发展计划更多>>

基于NS-DSMC耦合方法与Langmuir探针诊断的射频等离子体氧化过程中等离子体分布: 《稀有金属材料与工程》2024年第4期988-993,共6页刘万锁王志宝王庆蔺增; National Natural Science Foundation of China(51775096);Chinese Academy of Sciences WEGO Research Development Plan([2007]006);Fundamental Research Funds for the Central Universities,China(N2003009)。; 采用Navier-Stokes方程和直接模拟蒙特卡罗方法相结合的方式模拟了反应腔内的气体流动,并结合Langmuir探针检测设备分析了气体流速与等离子体密度的关系。结果表明,流体均匀性对等离子体的均匀性有显著影响。在6.5 Pa的压力下,等离子体...; 关键词：等离子体氧化等离子体诊断 NS-DSMC方法 LANGMUIR探针等离子体均匀性

高功率脉冲反应磁控溅射CrN_(x)涂层的放电特性与组分结构被引量：1: 《中国表面工程》2022年第5期184-191,共8页祁宇星周广学左潇都宏陈仁德汪爱英; 国家自然科学基金(52025014);宁波市自然科学基金(202003N4025,2021J217)资助项目; 高功率脉冲反应磁控溅射技术具有放电等离子密度高、溅射材料离化率高和绕镀性好的特点,已被广泛用于金属氮化物强化涂层的设计制备,但受沉积过程实时在线诊断困难,决定涂层结构性能的关键等离子体特性尚不清晰。基于自主研制的高功率...; 关键词：高功率脉冲反应磁控溅射 CrN_(x)涂层放电特征 LANGMUIR探针微结构

物理气相沉积中等离子体参数表征的研究进展被引量：6: 《表面技术》2021年第10期140-146,185,共8页曲帅杰郭朝乾代明江杨昭林松盛王迪田甜石倩; 物理气相沉积作为制备表面防护薄膜的重要方法,一直是表面薄膜领域研究重点,而物理气相沉积中等离子体作为直接影响薄膜性能的关键因素,其参数的表征对优化沉积工艺和提高薄膜性能具有重要指导意义。概述了常用物理气相沉积方法及其发展...; 关键词：物理气相沉积薄膜等离子体参数电弧离子镀磁控溅射发射光谱法 LANGMUIR探针

空间环境模拟用ECR等离子体源标准装置研究: 《真空科学与技术学报》2020年第8期750-757,共8页邓星亮张书锋贾军伟柴昊王斌李鹏崔爽郎昊宋德强李峥刘展; 研究了以微波ECR等离子体源作为等离子体发生器的空间环境模拟装置。试验以氩气为放电气体,通过分析气压、微波功率、磁场等放电条件对微波ECR等离子体源的耦合作用,并结合COMSOL软件进行仿真验证,实现了等离子体电子密度、电子温度等...; 关键词：放电条件特征参数引出结构 LANGMUIR探针校准

利用Langmuir探针诊断激波管高温高密度等离子体被引量：1: 《宇航计测技术》2017年第6期63-66,74,共5页葛萌孙刚张莉莉谢阳; 利用Langmuir探针诊断等离子体参数的基本原理,对由激波管产生的高温等离子体进行了密度诊断,实时得到了较为完整的等离子体伏安特性曲线,并通过数据处理得到等离子体电子温度、电子密度参数等。比较了激波马赫数9Ms^24Ms范围内,Langmui...; 关键词：LANGMUIR探针等离子体电子密度伏安特性曲线激波管

超高速碰撞产生等离子体的实验: 《电工技术学报》2017年第8期103-107,共5页李进李运良钱秉文景吉勇谭书舜张冠军; 利用二级轻气炮实验平台开展了2A12铝材料的超高速碰撞实验,并设计了高速摄影系统和Langmuir探针诊断系统,对实验中超高速碰撞产生的等离子体进行了诊断,获取了等离子体产生过程的高速摄影图片以及等离子体电子温度变化曲线。结果表明,...; 关键词：超高速碰撞等离子体 LANGMUIR探针电子温度

基于改进小波阈值去噪法处理Langmuir探针信号被引量：1: 《核聚变与等离子体物理》2016年第4期297-302,共6页佟为明李鹏陶宝泉金显吉; 国家国际科技合作专项(2011DFR70910); 在分析软硬阈值去噪特点的基础上,提出一种改进的小波阈值函数。根据Langmuir探针I-V特性曲线的特点,提出一种改进的标准差估算方法来计算小波阈值。采用基于改进标准差和改进阈值函数的小波对探针特性曲线进行去噪,仿真结果表明,改进...; 关键词：LANGMUIR探针小波去噪标准差

Langmuir探针对以SiCl_4/H_2低温沉积多晶硅薄膜过程的在线检测: 《池州学院学报》2015年第6期33-35,共3页祝祖送尹训昌尤建村; 安徽省教育厅资助项目(AQKJ2014B019);安庆师范学院青年科研基金资助的课题(044-K10025000031); 利用等离子体增强化学气相沉积技术、以SiCl_4/H_2为源气体可以低温快速沉积高质量的多晶硅薄膜。采用加热可调谐Langmuir探针技术,研究了薄膜沉积过程中参与空间气相反应的电子特性——电子能量分布函数、电子平均能量和电子密度,并系...; 关键词：LANGMUIR探针电子特性 SiCl4/H2等离子体沉积速率

利用准光腔对辉光放电等离子体诊断分析被引量：1: 《真空科学与技术学报》2015年第11期1362-1367,共6页葛萌张正龙; 利用建立的准光腔谐振系统对辉光放电空气等离子体中电子密度参数进行了诊断分析。通过测试加载等离子体前后准光腔谐振系统的谐振参数,计算得到被测等离子体的等效复介电常数及电子密度。实验结果表明:采用准光腔诊断辉光放电空气等离...; 关键词：准光腔等离子体密度辉光放电 LANGMUIR探针

用Langmuir探针法标定的发射光谱法诊断等离子体电子密度及分布被引量：5: 《真空科学与技术学报》2015年第6期646-649,共4页陈宗胜林志丹时家明马丽芳; 国防预研究基金资助的课题(2010019); 电子密度是低温等离子体的重要参数之一,仅采用发射光谱或Langmuir探针一种诊断方法,很难测量出该参数及其分布。针对这一问题,提出了用Langmuir探针法标定的发射光谱法,用于诊断等离子体电子密度及其分布。通过对一定长度表面波等离子...; 关键词：等离子体 LANGMUIR探针发射光谱诊断

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