左潇

作品数：4被引量：4H指数：1
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供职机构：中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波材料技术与工程研究所更多>>
发文主题：高功率脉冲涂层磁控溅射技术磁控溅射法磁控更多>>
发文领域：金属学及工艺理学机械工程文化科学更多>>
发文期刊：《核聚变与等离子体物理》《中国表面工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金宁波市自然科学基金更多>>
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高功率脉冲反应磁控溅射CrN_(x)涂层的放电特性与组分结构被引量：1
《中国表面工程》2022年第5期184-191,共8页祁宇星 周广学 左潇 都宏 陈仁德 汪爱英 
国家自然科学基金(52025014);宁波市自然科学基金(202003N4025,2021J217)资助项目
高功率脉冲反应磁控溅射技术具有放电等离子密度高、溅射材料离化率高和绕镀性好的特点,已被广泛用于金属氮化物强化涂层的设计制备,但受沉积过程实时在线诊断困难,决定涂层结构性能的关键等离子体特性尚不清晰。基于自主研制的高功率...
关键词：高功率脉冲反应磁控溅射 CrN_(x)涂层 放电特征 LANGMUIR探针 微结构 
低功率电弧放电辅助甲烷燃烧的实验研究被引量：1
《核聚变与等离子体物理》2015年第4期373-378,共6页张军 方世东 舒兴胜 汪闯 左潇 孟月东 王守国 
利用低功率电弧放电辅助甲烷燃烧,研究了在不同甲烷/空气比例的情况下,等离子体对甲烷燃烧的影响。采用发射光谱仪进行光谱诊断,比较有/无等离子体辅助甲烷燃烧火焰发射光谱的异同,讨论了等离子体辅助燃烧可能发生的过程和机理。比较有...
关键词：发射光谱 转动温度 气相色谱 浓度测量 
氢气稀释比例对多晶硅薄膜微观结构和沉积特性的影响
《核聚变与等离子体物理》2014年第3期275-281,共7页宋莎莎 左潇 魏钰 陈龙威 舒兴胜 
利用电感耦合等离子体增强化学气相沉积法(ICP-PECVD)直接在普通玻璃衬底上低温沉积多晶硅薄膜,主要研究了不同氢气稀释比例对薄膜沉积特性和微观结构的影响。采用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪和扫描电子显微镜(SEM)表征了在不同氢气...
关键词：电感耦合等离子体 等离子体增强化学气相沉积 多晶硅薄膜 氢气比例 
微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积法制备多晶硅薄膜被引量：2
《核聚变与等离子体物理》2012年第4期356-361,共6页左潇 魏钰 陈龙威 舒兴胜 孟月东 
国家自然科学基金资助项目(085JA16501)
利用微波电子回旋共振等离子体增强型化学气相沉积(ECR-PECVD)采用一步法直接在K9玻璃上低温沉积制备了多晶硅薄膜。研究了不同实验参数对薄膜沉积的影响,采用X射线衍射(XRD)、拉曼光谱、扫描电子显微镜(SEM)等实验分析方法对不同条件...
关键词：电子回旋共振等离子体增强型化学气相沉积 低温 直接制备 多晶硅薄膜 
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