制作微器件的超声电解复合微细加工基础研究  

The Basic Study on the Combined Technology of Ultrasonic and Electrochemical Machining for Manufacturing Micro-instruments

作　　者：朱永伟[1] 吴冰杰[2] 云乃彰[2] 

机构地区：[1]扬州大学机械工程学院,江苏扬州250001 [2]南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016

出　　处：《电加工与模具》2006年第2期56-59,共4页Electromachining & Mould

基　　金：中国博士后基金资助(20034382);江苏省高校自然科学基金项目(02KJB460009)

摘　　要：提出一种制造MEMS微器件的新技术———超声电解复合微细加工;设计微细加工工艺系统,进行一系列微细加工基础工艺试验,验证超声电解复合微细加工在微器件制造中的可行性,展示了该技术在提高微细加工精度、效率、表面质量等方面的优势,研究成果对完善MEMS器件制作技术具有重要理论意义与实用价值。A new technology is presented of ultrasonic and electrochemical machining for manufacturing micro-instruments. The micro-machining system of the combined technology is built, A series of mlcro-machining basic tests are carried for manufacturing MEMS （micro electro-mechanical system） instruments. The possibility and advantages on machining precision, productivity and surface quality of the technology has been proved. The study work is helpful for the manufacturing of MEMS instruments.

关 键 词：超声加工 电解加工 复合微细加工 MEMS器件 试验研究 

分 类 号：TG662[金属学及工艺—金属切削加工及机床]