微波等离子体源在钢表面氮化中的应用  

作　　者：胡海天[1] 邬钦崇[1] 

机构地区：[1]中国科学院等离子体物理研究所

出　　处：《材料保护》1996年第2期28-30,共3页Materials Protection

摘　　要：对微波等离子体源和常规等离子体源进行了对比，分析了微波等离子体源应用于离子氮化的优越性，报道了微波等离子体在钢表面氮化中的应用。

关 键 词：等离子体 渗氮 钢 离子氮化 微波等离子体源 

分 类 号：TG161.82[金属学及工艺—热处理]