面向IC测试技术的精密运动平台的设计  

Design of the High-Precision Motion Platform for IC Testing

作　　者：杨超[1] 胡泓[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学深圳研究生院先进电子装备制造技术实验室,广东深圳518055

出　　处：《机械工程师》2006年第5期52-54,共3页Mechanical Engineer

摘　　要：文中主要介绍了一个能用于IC测试设备的高速高精度的精密运动平台。该平台是芯片测试设备——全自动探针台关键部件,它可以实现X、Y、Z、θ四个方向的运动。对平台进行了整体结构设计和电气硬件搭建,并对其传动精度进行了校核计算。通过大量的实验分析其点对点控制的运动和定位精度,证明其精度和可靠性完全满足芯片测试的要求。In this paper ,a high-Precision motion platform is designed for IC testing equipment-auto prober.The high-Precision motion platform is a key part of the prober.It can move in X、Y、X、θ for directions .We have made a massive structure design for the platform and built an electric hardware system.And then we checked the transmission accuracy of the high-Precision motion platform.We do many experiments on different platform to analyze the positioning error in point to point motion control system .We can learn by experiment that the positioning accuracy and reliability can meet the demand of the wafer testing .

关 键 词：精密运动台 滚珠丝杠 传动精度 定位误差 

分 类 号：TN407[电子电信—微电子学与固体电子学]