MEMS技术概述  

Tntoduettom on MEMS

作　　者：王冬生[1] 王春明 胡桂珍[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学(威海)汽车工程学院,威海264209 [2]山东威海海马地毯厂,威海264200

出　　处：《机械设计与制造》2006年第4期106-108,共3页Machinery Design & Manufacture

摘　　要：这里简要介绍了MEMS技术的概念、研究的主要领域和目前的应用领域,重点介绍了MEMS加工技术及其分类,最后给出了该技术的展望。This paper presents conception of MEMS （Micro Electro Mechanical System） and fields of investigation. It also gives the main application field of MEMS. It emphatic discussed machining technology of MEMS and kinds of process. Furthermore, some points of view of developing on MEMS are put forward.

关 键 词：研究领域 加工技术 现状及展望 

分 类 号：TH11[机械工程—机械设计及理论]