胡桂珍

作品数：1被引量：9H指数：1
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MEMS技术概述被引量：9
《机械设计与制造》2006年第4期106-108,共3页王冬生 王春明 胡桂珍 
这里简要介绍了MEMS技术的概念、研究的主要领域和目前的应用领域,重点介绍了MEMS加工技术及其分类,最后给出了该技术的展望。
关键词：研究领域 加工技术 现状及展望 
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