扭臂式静电微驱动器的pulli-n现象分析  

Pull-in Phenomena Analysis of ElectrostaticMicro-Actuator with Torsion Heam

作　　者：孙东明[1] 董玮[1] 玄伟[1] 刘彩霞[1] 王国东[1] 陈维友[1] 

机构地区：[1]集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区,长春130012

出　　处：《微纳电子技术》2006年第5期251-253,共3页Micronanoelectronic Technology

基　　金：跨世纪优秀人才培养计划基金;吉林省科技发展计划资助项目(20010319);国家科技部"863计划"资助项目(2002AA312020);吉林大学研究生创新基金资助项目(501038)

摘　　要：从扭臂式微驱动器模型出发,分析了器件在静电驱动条件下pulli-n现象的产生条件,并给出公式化结果。讨论了器件的几何结构参数对于pulli-n现象的影响,并对具体结构的器件给出了pulli-n角度和pulli-n电压等方面的分析结果。对于特定的扭臂结构,pulli-n角度为悬臂梁最大扭转角度的44.04%,且与扭臂的结构参数无关。A model of a micro-actuator with torsion beam, and the analytical formulae are derived for analysis of pull-in phenomena. The effect of the structural parameters on pull-in phenomena is discussed, and analytical results are given for the certain device. The ratio of pull-in angle to the maximum travel angle is 44.04%, and which is not correlative with the parameters of torsion beam.

关 键 词：微驱动器 静电驱动 扭臂 pull—in现象 

分 类 号：TH703.2[机械工程—仪器科学与技术] O441.1[机械工程—精密仪器及机械]