微机械光学器件  

出　　处：《微纳电子技术》2006年第5期253-253,共1页Micronanoelectronic Technology

关 键 词：微光学器件 微机械 外腔激光器 光学元件 技术制作 MEMS 变焦透镜 光编码器 扫描器 斩光器 

分 类 号：TN929.11[电子电信—通信与信息系统] TH-39[电子电信—信息与通信工程]