用于5～6GHz无线局域网的硅螺旋电感设计  

Design of Silicon Spiral Inductors Used for 5～6GHz Wireless LAN

作　　者：孙龙杰[1,2] 杨波[3] 郭理辉[3] 

机构地区：[1]西安电子科技大学微电子研究所 [2]西安科技大学微电子研究所,西安710075 [3]西安科技大学微电子研究所

出　　处：《Journal of Semiconductors》2006年第5期892-895,共4页半导体学报（英文版）

摘　　要：提出一种设计和优化电感版图结构的方法，采用低电阻系数硅衬底和0.18μm Cu／SiO2互连工艺技术，设计出一组工作在5.7GHz的电感，同时优化了版图结构，例如内部磁芯大小、线圈宽度、线圈间距（0.2～11nH）等，与使用原有设计方法测出的电感的Q值相比，经过优化的5.7GHz电感的Q值可改进到5～8。A method for designing and optimizing the construction of inductor layout is presented. A set of 5.7GHz inductors with low resistivity silicon substrate is designed with 0.18μm Cu/SiO2 interconnect process technology. The layout structures such as the inner core size, coil-width,and coil-space of the inductors （0.2--11nH） are optimized. Compared to general methods,this method improves the Q of the 5.7GHz inductors to 5-8.

关 键 词：射频电感 结构优化 仿真 无线局域网 

分 类 号：TM55[电气工程—电器]