图案化SiC和SiCN陶瓷微结构的制备  

作　　者：王浩[1] 宋胤江[2] 李效东[1] 金东杓[2] 

机构地区：[1]国防科学技术大学CFC重点实验室,长沙410073 [2]忠南大学精细化工与化学工程系

出　　处：《中国科学（E辑）》2006年第5期515-524,共10页Science in China(Series E)

基　　金：国家自然科学基金(批准号:59972042);韩国国家重点实验室项目(批准号:M1040000006-04J0000-06110);国防科学技术大学博士创新基金(2001~2004年)资助项目

摘　　要：采用毛细管微模塑技术和转移微模塑技术,以硅片为栽片,以图案化聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性体为模板,以聚碳硅烷(PCS)和聚硅氮烷(PSZ)为先驱体,经过先驱体的渗入、先驱体的交联固化、弹性模板的去除以及图案化先驱体的无机化,制备了图案化SiC和SiCN陶瓷微结构.研究结果表明,所制备的陶瓷微结构的尺寸和形状受模板的图案化尺寸和形状控制.由于SiC和SiCN非氧化物陶瓷自身的优良性能将使得所制备的图案化SiC和SiCN陶瓷微结构在高温、高压等环境下具有非常广泛的应用前景.

关 键 词：微加工技术 软刻蚀 弹性模板 非氧化物陶瓷 图案化 

分 类 号：TH703[机械工程—仪器科学与技术]