压电驱动阵列微喷的加工及实验研究  

The Fabrication and Experimental Research on Piezoelectric Array Microjet

作　　者：朱俊华[1] 周兆英[1] 杜桂彬[1] 冯焱颖[1] 林冬[1] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器与机械学系,北京100084

出　　处：《压电与声光》2006年第3期360-362,366,共4页Piezoelectrics & Acoustooptics

基　　金：国家"八六三"基金资助项目(2003AA404170)

摘　　要：介绍了一种基于微电子机械系统（MEMS）技术的阵列微喷的加工和实验结果。利用微细加工技术，在硅片上制作了上千个直径够5～20μm的微喷孔阵列。该微喷以压电效应为驱动方式，通过压电片振动所产生的压力使液体从微喷孔中喷出。具有所产生的液滴直径和速度分布集中，无热效应的特点。采用激光相位-多普勒粒子分析（PDPA）系统对不同工作条件下液滴的直径和速度进行了研究。This paper presents the fabrication and experiment results of a novel array microjet, which can be used for medical nebulizer. Hundreds of micro nozzles with the diameter of 5-20μm are fabricated on the silicon wafer using the ICP process. It adopts the piezoelectric transducer as the actuator, which generates pressure in the liquid chamber and ejects liquid out of the nozzles. The diameter and velocity of the droplets have a narrow distribution. The PDPA system is utilized to study the diameter and velocity of the droplets under different conditions.

关 键 词：微电子机械系统(MEMS) 雾化给药 微喷 压电驱动 

分 类 号：TH16[机械工程—机械制造及自动化]