运用光蚀刻技术制造金属光栅盘  

Development of Radial Metal Grating by Photoetching Technique

作　　者：金轸裕[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械研究所

出　　处：《光学精密工程》1996年第3期85-90,共6页Optics and Precision Engineering

摘　　要：光蚀刻技术广泛应用于金属部件的成型和加工，本文介绍用光蚀刻技术制造金属光栅盘的方法及其中的几个主要问题。The photoetching technique is widely used in the forming and manufacturing of metal components.In this paper a manufacturing method of radial metal gratings by photoetching technique is introduced,and some technique problems are discussed.

关 键 词：光蚀刻 光化学加工 光致抗蚀剂 金属光栅盘 

分 类 号：TH741.6[机械工程—光学工程] TG665[机械工程—仪器科学与技术]