光致抗蚀剂

作品数：220被引量：179H指数：6
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光致抗蚀剂标准需求和发展建议被引量：1
《标准科学》2023年第S01期70-75,共6页曹可慰 吴怡然 赵俊莎 李其聪 
光致抗蚀剂,也称光刻胶,应用于集成电路等半导体制造中的光刻工艺。光致抗蚀剂在光刻工艺中起到感光和抗刻蚀作用,主要成分有树脂、光引发剂、溶剂和添加剂。光致抗蚀剂是全球技术与贸易竞争的焦点,也是我国产业链供应链的薄弱环节。标...
关键词：光致抗蚀剂 光引发剂 标准 标准体系 
2022年中国电子化学品行业市场规模将持续增长
《中国战略新兴产业》2021年第12期13-18,共6页童锡来 
电子化学品是电子工业中的关键性基础化工材料,电子工业的发展,要求聰子化学品与之同步发展,不断地更新换代,以适应其在技术方面不断推陈出新的需要。按照统计分类,电子化学品一般根据用途分为基板、光致抗蚀剂(国内称光刻胶)、保护气...
关键词：电子化学品 光致抗蚀剂 持续增长 化工材料 辅助材料 统计分类 光刻胶 腐蚀剂 
国内外光刻胶发展及应用探讨被引量：4
《新材料产业》2021年第5期33-35,共3页崔杰 翟博涛 
光刻胶是由感光树脂、增感剂和溶剂为主要成分的一种对光特别敏感的混合液体,别名为“光致抗蚀剂”。光刻胶对光非常敏感,透过光线,其化学特性就会发生变化,因此把光刻胶涂敷在硅基片上,再经过曝光、显影、刻蚀等工艺,就可以将设计好的...
关键词：光刻胶 光致抗蚀剂 硅基片 感光树脂 混合液体 增感剂 化学特性 图形 
一种UVA型光产酸剂
《广东化工》2021年第8期18-20,共3页廖恒 
本文合成了一种以硫杂蒽酮为基核的光产酸剂,该光产酸剂对UVA段紫外光敏感,光解可以产生超强酸,且在365、385、395 nm LED光源下具有良好的光产酸效率,光产酸量子产率Φa为0.10~0.11。
关键词：光产酸剂 UVA 超强酸 光致抗蚀剂 LED 
我国光掩模玻璃基板的发展现状及趋势
《玻璃》2021年第1期1-6,共6页刘志海 
1光掩模玻璃基板的定义及种类1.1光学掩模板的定义及分类1.1.1光学掩模板的定义光学掩模板,又称光掩模板、掩模板、掩膜版、光掩膜、光刻掩膜版、光罩等,在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位,以便用于光致抗蚀剂涂...
关键词：玻璃基板 光刻工艺 玻璃基体 光致抗蚀剂 微电子制造 光学掩模 掩模板 光掩膜 
我国光掩模玻璃基板的发展现状及趋势
《建筑玻璃与工业玻璃》2020年第10期8-12,共5页刘志海 
1光掩模玻璃基板的定义及种类1.1光学掩模板的定义及分类1.1.1光学掩模板的定义光学掩模板,又称光掩模板、掩模板、掩膜版、光掩膜、光刻掩膜版、光罩等,在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位,以便用于光致抗蚀剂涂...
关键词：光刻工艺 掩模板 光致抗蚀剂 微电子制造 光学掩模 光掩膜 光掩模 玻璃基板 
含POSS光刻胶材料研究进展被引量：2
《影像科学与光化学》2019年第5期465-472,共8页尤凤娟 韩俊 严臣凤 王力元 
光致抗蚀剂又称光刻胶,是微电子加工过程中的关键材料。多面体低聚倍半硅氧烷(POSS)是一种具有规则的笼型结构的聚合物增强材料,由POSS改性的聚合物实现了有机-无机纳米杂化,POSS刚性结构的引入阻碍了聚合物分子的运动,可以显著提高聚...
关键词：光致抗蚀剂 含POSS 光刻 耐蚀刻性 
国内外感光干膜市场初探被引量：3
《精细与专用化学品》2018年第9期1-2,共2页王海霞 
感光干膜是印制电路板行业的重要原料,其主体部分是光致抗蚀剂,属高端化学品。2017年,世界感光干膜市值约15.4亿美元,预计2022年将达22.75亿美元。介绍了国内外感光干膜的生产现状。
关键词：印制电路板 感光干膜 光致抗蚀剂 
一种高感度深紫外正性化学增幅型抗蚀剂的制备
《高等学校化学学报》2017年第5期896-901,共6页吴立萍 胡凡华 王倩倩 王菁 王力元 
国家重点基础研究发展计划项目(批准号:2013CBA01703);国家自然科学基金(批准号:51641301)资助~~
聚对羟基苯乙烯和环己基乙烯基醚反应得到缩醛保护的聚合物.该聚合物易溶于常见的有机溶剂,具有较好的热稳定性,在248 nm处透明性良好.该聚合物可与聚对羟基苯乙烯-甲基丙烯酸金刚烷基酯及二砜光产酸剂等组成一种三组分正性化学增幅型...
关键词：光致抗蚀剂 深紫外 化学增幅 聚对羟基苯乙烯 缩醛 
辐射固化材料市场前景好
《广州化工》2017年第9期231-231,共1页
目前世界辐射（紫外线／电子束流）固化国际市场主要有三大地域性市场：亚洲约占市场总量的36％，北美约占27％，欧洲约占27％，其他领域约占10％。在亚洲地区中我国所占市场份额最大，，其次是日本。辐射固化材料包括两大类：一是辐射...
关键词：辐射固化材料 市场前景 亚洲地区 光致抗蚀剂 国际市场 电子束流 市场份额 光引发剂 
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