光掩模

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光掩模缺陷修补技术
《集成电路应用》2021年第4期17-19,共3页杨长华 
基于芯片图形特征尺寸越来越小,图形越来越密集,缺陷很难修补。阐述掩模在制作过程中缺陷形成的原因,对掩模缺陷进行分类,掩模修补的方法,包括激光气化法、局部曝光法、离子束修补。
关键词：集成电路制造 光掩模 缺陷修补 离子束修补 
我国光掩模玻璃基板的发展现状及趋势
《玻璃》2021年第1期1-6,共6页刘志海 
1光掩模玻璃基板的定义及种类1.1光学掩模板的定义及分类1.1.1光学掩模板的定义光学掩模板,又称光掩模板、掩模板、掩膜版、光掩膜、光刻掩膜版、光罩等,在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位,以便用于光致抗蚀剂涂...
关键词：玻璃基板 光刻工艺 玻璃基体 光致抗蚀剂 微电子制造 光学掩模 掩模板 光掩膜 
我国光掩模玻璃基板的发展现状及趋势
《建筑玻璃与工业玻璃》2020年第10期8-12,共5页刘志海 
1光掩模玻璃基板的定义及种类1.1光学掩模板的定义及分类1.1.1光学掩模板的定义光学掩模板,又称光掩模板、掩模板、掩膜版、光掩膜、光刻掩膜版、光罩等,在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位,以便用于光致抗蚀剂涂...
关键词：光刻工艺 掩模板 光致抗蚀剂 微电子制造 光学掩模 光掩膜 光掩模 玻璃基板 
关于集成电路光掩模制造企业成本核算方法准确性的探讨——以G公司光掩模制造企业为例被引量：6
《财会学习》2018年第15期91-92,95,共3页赵璐 
近年来,伴随着中国电子产品制造企业的大力发展,对于集成电路行业颁布了一系列的优惠扶持政策,尤其是集成电路光掩模制造企业快速崛起,但在发展同时也遇到了很多问题,除了技术同源、产品同质化、创新不足外,企业如何通过科学合理成本控...
关键词：光掩模制造企业 成本核算方法 作业成本法 探讨 
中芯国际12英寸新建生产线项目在沪启动
《上海信息化》2016年第11期91-91,共1页
2016年10月13日，中芯国际“新建12英寸集成电路先进工艺生产线”项目以及配套建设的高端光掩模生产线等项目启动仪式在沪举行，这是上海积极贯彻发展集成电路产业国家战略，推进上海先进制造业发展的又一大举措。
关键词：生产线 国际 集成电路产业 先进制造业 配套建设 国家战略 光掩模 
凸版光掩模有限公司批准在中国建设65nm至14nm生产线项目
《中国集成电路》2016年第9期11-11,共1页
凸版光掩模有限公司（Toppan Photomasks，Inc．，TPI）近日宣布批准对近期扩建的中国上海厂的下一阶段投资计划，该厂由TPI独资子公司ToppanPhotomasks Company Limited, Shanghai （ TPCS ）运营。TPI将对此工厂再投资8000万美元以展...
关键词：光掩模 中国 凸版 生产线 投资计划 半导体产业 TPI INC 
光掩模制造:集成电路产业的风向标——从凸版光掩模公司看产业发展
《华东科技》2012年第2期66-67,共2页郭霞 
光掩模制造是集成电路产业链中工艺、设备、管理技术要求最高,资金投入比重最大的瓶颈工序。任何商业化的集成电路制造都离不开光刻掩模版这一核心产业。硅片光刻技术中光掩模制造业的快速发展是集成电路行业长盛不衰的关键。上海凸版...
关键词：集成电路产业链 掩模制造 光掩模 凸版 风向标 集成电路制造 集成电路行业 光刻技术 
凸版光掩模扩大上海子公司产能和技术能力
《集成电路应用》2012年第1期45-45,共1页
为了更好地服务于中国快速增长的半导体产业，凸版印刷集团旗下子公司上海凸版光掩模有限公司（7PCS）将实施扩建计划，扩大其生产经营规模。TPCS是由凸版光掩模集团与上海微系统信息技术研究所共同组建的一家中外合资公司。本次投资2，...
关键词：凸版印刷 技术能力 光掩模 上海 产能 生产经营规模 半导体产业 半导体器件 
凸版光掩模上海合资厂扩产并提升技术能力
《中国集成电路》2011年第12期2-2,共1页
为了更好地服务于中国快速增长的半导体产业，凸版印刷集团旗下子公司上海凸版光掩模有限公司11月18日宣布，将在上海扩大其生产经营规模。上海凸版光掩模有限公司（简称“TPCS”），是由凸版光掩模集团与上海微系统信息技术研究所共同...
关键词：凸版印刷 技术能力 合资公司 光掩模 上海 生产经营规模 扩产 半导体产业 
凸版光掩模将提高上海合资厂的产能和技术能力
《电子元器件应用》2011年第12期70-70,共1页
2011年11月18日，为了更好能服务于中国快速增长的半导体产业，凸版印刷集团旗下子公司上海凸版光掩模有限公司今天宣布，将在上海扩大其生产经营规模。
关键词：凸版印刷 光掩模 技术能力 上海 产能 合资 生产经营规模 半导体产业 
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