光掩膜

作品数：36被引量：31H指数：3
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：张金伟陈夏超蔺存国任科峰计剑更多>>
相关机构：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司HOYA株式会社长鑫存储技术有限公司友达光电股份有限公司更多>>
相关期刊：《现代盐化工》《新材料产业》《清华大学学报（自然科学版）》《光学学报》更多>>
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光掩膜诱导的聚合物/纳米粒子共混体系的自组装计算机模拟被引量：2
《计算物理》2022年第5期598-608,共11页王雯婷 尹慧瑾 潘俊星 张进军 
山西省基础研究项目(20210302123337);山西省高等学校科技创新项目(2019L0455)资助。
采用基于金兹堡-朗道理论(Ginzburg-Landau Theory)的元胞动力学方法(Cell Dynamic System)研究光掩膜诱导的聚合物/纳米粒子共混体系的自组装行为。探讨掩膜、光照强度、聚合物组分比、纳米粒子浓度、聚合物-纳米粒子相互作用等因素对...
关键词：光掩膜 聚合物/纳米粒子共混体系 相分离 有序形貌 
光掩膜缺陷和清洗:一种新环境
《现代盐化工》2021年第3期22-23,共2页鄢红军 
以往清洗光掩膜时采用的清洗技术用到了浓硫酸、SC-1等溶剂,会在一定程度上导致硫酸根以及铵根离子残留在膜表面。随着微影技术时代的到来,光掩膜在使用一段时间后,能够从残留的离子中析出部分硫酸盐晶体,被业界称为光掩膜"Haze"。受到...
关键词：光掩膜 清洗技术 结晶生长 深紫外光照射 
光掩膜石英玻璃基板的制造工艺概述被引量：3
《玻璃搪瓷与眼镜》2021年第4期39-43,共5页陈娅丽 沈建明 汤明明 王蒙非 钱宜刚 丁杰 马俊逸 
光掩膜石英玻璃基板是光掩膜技术中的上游产品,广泛应用于半导体和光学等领域。随着半导体器件的集成化发展,对光掩膜石英玻璃基板的技术要求也越来越高。为满足市场需求,光掩膜石英玻璃基板的制造工艺也在不断改进,包括材料石英锭的熔...
关键词：光掩膜石英玻璃基板 石英锭熔制 热加工工艺 冷加工工艺 
我国光掩模玻璃基板的发展现状及趋势
《玻璃》2021年第1期1-6,共6页刘志海 
1光掩模玻璃基板的定义及种类1.1光学掩模板的定义及分类1.1.1光学掩模板的定义光学掩模板,又称光掩模板、掩模板、掩膜版、光掩膜、光刻掩膜版、光罩等,在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位,以便用于光致抗蚀剂涂...
关键词：玻璃基板 光刻工艺 玻璃基体 光致抗蚀剂 微电子制造 光学掩模 掩模板 光掩膜 
全球集成电路关键材料产业发展态势与风险分析被引量：10
《中国集成电路》2020年第10期11-17,共7页李铁成 李茜楠 
集成电路材料是发展集成电路产业的基础。当前,全球集成电路材料市场呈现出高度集中化的发展态势。其中,日本和欧美等发达国家和地区由于掌握集成电路关键材料制备核心技术,多年来始终控制着全球集成电路关键材料供应,形成了“垄断”优...
关键词：集成电路材料 半导体 硅晶圆 光掩膜 光刻胶 溅射靶材 风险分析 
我国光掩模玻璃基板的发展现状及趋势
《建筑玻璃与工业玻璃》2020年第10期8-12,共5页刘志海 
1光掩模玻璃基板的定义及种类1.1光学掩模板的定义及分类1.1.1光学掩模板的定义光学掩模板,又称光掩模板、掩模板、掩膜版、光掩膜、光刻掩膜版、光罩等,在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位,以便用于光致抗蚀剂涂...
关键词：光刻工艺 掩模板 光致抗蚀剂 微电子制造 光学掩模 光掩膜 光掩模 玻璃基板 
科技动态
《军民两用技术与产品》2020年第6期66-69,共4页
科学家受火山甲虫启发发明了可被动冷却的新型材料美国得克萨斯州大学奥斯汀分校、上海交通大学、瑞典皇家理工学院合作开发出一套基于光掩膜的新方案。研究人员选用了聚二甲基硅氧烷(PDMS)的聚合物,然后将陶瓷颗粒掺入其中,并用类似于...
关键词：上海交通大学 新型材料 陶瓷颗粒 科技动态 人员选用 散热性能 光掩膜 被动冷却 
格芯和Toppan Photomasks扩大其在德国的先进光掩膜合资企业
《中国集成电路》2018年第5期6-6,共1页
格芯（GlobalFoundires）和ToppanPhotomasks，Inc．（rrPI）宣布一个多年扩张计划，以扩大其位于德国德累斯顿的先进掩膜技术中心（AMTC）合资企业。AMTC于2002年设立，为格芯位于德国德累斯顿、纽约马耳他和新加坡的工厂提供掩膜的高...
关键词：合资企业 掩膜 德国 技术中心 生产周期 INC 新加坡 马耳他 
KLA-Tencor宣布推出新型光掩膜检测系统
《中国集成电路》2016年第9期6-6,共1页
近日，KLA—Tencor公司针对10nm及以下的掩膜技术推出了三款先进的光掩膜检测系统，Teron咧640、TeronTMSL655和光掩膜决策中心（RDC）。所有这三套系统是实现当前和下一代掩膜设计的关键，使得光掩膜厂和集成电路晶圆厂能够更高效地辨...
关键词：掩膜技术 检测系统 集成电路 KLA 成品率 
中国建材工程项目荣获2015年度上海市合理化建议创新奖
《中国建材资讯》2016年第4期32-,共1页
日前,中国建材工程的新型垂直搅拌器项目'荣获2015年度上海市职工合理化建议项目创新奖'。该项目的成功实施应用,可直接推动中国第二代浮法玻璃的技术突破,解开欧美公司的技术封锁;可间接推动电子、微电子、光电子领域的科技进步;可极...
关键词：中国建材 合理化建议 光电子领域 浮法玻璃 光掩膜 项目创新 间接推动 欧美公司 技术封锁 技术转化 
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