光掩模制造:集成电路产业的风向标——从凸版光掩模公司看产业发展  

作　　者：郭霞[1] 

机构地区：[1]《华东科技》记者

出　　处：《华东科技》2012年第2期66-67,共2页east china science & technology

摘　　要：光掩模制造是集成电路产业链中工艺、设备、管理技术要求最高,资金投入比重最大的瓶颈工序。任何商业化的集成电路制造都离不开光刻掩模版这一核心产业。硅片光刻技术中光掩模制造业的快速发展是集成电路行业长盛不衰的关键。上海凸版光掩模有限公司作为最早进入中国的专业制造光掩模的工厂,

关 键 词：集成电路产业链 掩模制造 光掩模 凸版 风向标 集成电路制造 集成电路行业 光刻技术 

分 类 号：F426.6[经济管理—产业经济]