一种UVA型光产酸剂  

An UVA Photoacid Generators

作　　者：廖恒 Liao Heng(Guangdong Xinhuayue Petrochemical Incorporated Company,Maoming 525000,China)

机构地区：[1]广东新华粤石化集团股份公司,广东茂名525000

出　　处：《广东化工》2021年第8期18-20,共3页Guangdong Chemical Industry

摘　　要：本文合成了一种以硫杂蒽酮为基核的光产酸剂,该光产酸剂对UVA段紫外光敏感,光解可以产生超强酸,且在365、385、395 nm LED光源下具有良好的光产酸效率,光产酸量子产率Φa为0.10~0.11。We synthesized a thioxanthone sulfonate photoacid generators(PAGs) for super acid sensitive to UV-A. The PAGs exhibited good photoreactivity with photoacid generation quantum yields(Φa) between 0.10 to 0.11, and well utilized the energy of the UV-LED at 365, 385 and 395 nm.

关 键 词：光产酸剂 UVA 超强酸 光致抗蚀剂 LED 

分 类 号：TQ[化学工程]