光产酸剂

作品数：20被引量：23H指数：2
导出分析报告
相关领域：化学工程理学更多>>
相关作者：王力元倪伶俐蔡鹏王文君吴妹更多>>
相关机构：富士胶片株式会社北京师范大学日产化学工业株式会社常州强力先端电子材料有限公司更多>>
相关期刊：《北京师范大学学报（自然科学版）》《热固性树脂》《中国学术期刊文摘》《影像科学与光化学》更多>>
相关基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金北京市自然科学基金广东省自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
一种UVA型光产酸剂
《广东化工》2021年第8期18-20,共3页廖恒 
本文合成了一种以硫杂蒽酮为基核的光产酸剂,该光产酸剂对UVA段紫外光敏感,光解可以产生超强酸,且在365、385、395 nm LED光源下具有良好的光产酸效率,光产酸量子产率Φa为0.10~0.11。
关键词：光产酸剂 UVA 超强酸 光致抗蚀剂 LED 
几种光产酸剂的合成与产酸性能研究
《广州化工》2016年第9期38-39,94,共3页李金亮 
综述了几种不同类型光产酸剂合成反应及产酸性能研究,包括三嗪类化合物的合成、鎓盐类化合物和苯磺酸酯类化合物的合成及产酸性能研究。通过对比,得出不同类型的光产酸剂在不同溶剂中,不同波长下的光源曝光产酸率不同,可应用于不同的光...
关键词：光产酸剂 合成 产酸率 
光致抗蚀剂用光产酸剂的专利研究发展
《化工中间体》2015年第9期86-86,共1页王瑞 
本文主要介绍光致抗蚀剂用光产酸剂的专利研究发展情况。
关键词：光致抗蚀剂 光产酸剂 
光致抗蚀剂用光产酸剂的发展趋势被引量：1
《化工管理》2015年第7期102-102,共1页王瑞 
光致抗蚀剂是一类光敏高分子聚合物,受到光能照射时,分子内部发生聚合或分解反应,生成对某些溶剂可溶或不可溶的物质,微细加工中可利用这种特性来得到所需要的几何图形。本文对光致抗蚀剂用光产酸剂进行初步介绍,分析了光致抗蚀剂用光...
关键词：光致抗蚀剂 光产酸剂 
几种用于i-线光致抗蚀剂的光产酸剂性能研究
《吉林化工学院学报》2013年第9期34-38,共5页徐娜 王艳 陈哲 
2,1,4-重氮萘醌磺酸酯类化合物(2,1,4-DNQ),在光照下除了发生传统的重氮萘醌磺酸酯的光解,还可以产生磺酸导致聚合物发生酸解,因而可用作光产酸剂.本文制备了5种2,1,4-重氮萘醌磺酸酯,具有较好的热稳定性,分解温度均在130℃以上;其中有...
关键词：i-线光致抗蚀剂 光产酸剂 2 1 4-DNQ 
磺酸肟酯类光产酸剂的制备及性能研究
《影像科学与光化学》2013年第4期305-315,共11页解晓艳 庞玉莲 肖时卓 杨丽 邹应全 陈萍 周树云 
本文合成了4种磺酸肟酯类非离子型光产酸剂,用核磁氢谱确认了产物结构,并测试了其热稳定性、紫外吸收特性及产酸效率.结果表明,合成的4种磺酸肟酯类光产酸剂在350—450nm和深紫外区(DUV,248nm)都有很好的吸收,在420nm波段曝光下,(5-对...
关键词：非离子型光产酸剂 磺酸肟酯 产酸率 实时红外 
一种新型分子玻璃光致抗蚀剂材料及其应用被引量：1
《吉林化工学院学报》2013年第7期11-14,共4页徐娜 宋金卓 赵飞 
分子玻璃体是在室温下为无定形态的低分子量材料.通过含大的脂环基团的一元羧酸和二乙烯基醚的反应,得到了一种新颖的酯缩醛结构分子玻璃体.该化合物具有单分散性且是无定形的,可溶于常用的溶剂,具有高的热稳定性.在室温或稍高温度下,...
关键词：分子玻璃体 正型光致抗蚀剂 酯缩醛化合物 光产酸剂 
化学增幅型光致抗蚀剂用光产酸剂
《吉林化工学院学报》2012年第11期45-47,共3页孟磊 刘玉芹 王金铃 徐娜 
综述了用于化学增幅型光致抗蚀剂的光产酸剂及机理,对于几种常用的离子型和非离子型光产酸剂分别进行了阐述,并对其特性和应用做了简单介绍.
关键词：化学增幅 光致抗蚀剂 光产酸剂 
新型紫外光产酸剂的合成及其光聚合动力学研究
《热固性树脂》2012年第5期1-5,共5页庞玉莲 邹应全 辛阳阳 肖时卓 
北京市自然科学基金(2112020)资助
以2-硝基噻吩,甲基磺酰氯及苯乙腈为原料合成了一种紫外光产酸剂(5-甲磺酸酯亚胺-5H-噻吩-2-亚基)-苯基-乙腈(MTPA),通过傅里叶红外光谱仪、核磁共振仪和紫外吸收光谱仪及热重分析对所合成的产物的结构和性能进行了表征,并利用实时红外(...
关键词：光产酸剂 合成 光聚合动力学 
含碘鎓盐光产酸剂和增感染料的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂被引量：1
《影像科学与光化学》2011年第6期430-437,共8页刘娟 孔繁荣 余金星 王力元 
国家自然科学基金(50773006)
4,4′-二甲苯基三氟甲磺酸碘鎓盐可以被染料增感,在365nm光照时分解产酸.尽管产生的酸与染料的胺基发生作用,依然能在后烘过程中催化缩醛聚合物酸敏基团的分解,但需要稍高的后烘温度和稍长的后烘时间.基于此,本文将酚醛树脂、缩醛聚合...
关键词：敏化剂 产酸剂 染料 正型 i-线抗蚀剂 酸解 缩醛聚合物 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部