光致抗蚀剂用光产酸剂的发展趋势  

作　　者：王瑞[1] 

机构地区：[1]国家知识产权局专利局专利审查协作江苏中心化学发明审查部,江苏苏州215000

出　　处：《化工管理》2015年第7期102-102,共1页Chemical Engineering Management

摘　　要：光致抗蚀剂是一类光敏高分子聚合物,受到光能照射时,分子内部发生聚合或分解反应,生成对某些溶剂可溶或不可溶的物质,微细加工中可利用这种特性来得到所需要的几何图形。本文对光致抗蚀剂用光产酸剂进行初步介绍,分析了光致抗蚀剂用光产酸剂的最新研究进展,并对今后的发展做了相关的预测与展望。

关 键 词：光致抗蚀剂 光产酸剂 

分 类 号：TQ317[化学工程—高聚物工业]