光致抗蚀剂用光产酸剂的专利研究发展  

作　　者：王瑞 

机构地区：[1]国家知识产叔局专利局专利审查协作江苏中心化学发明审查部,江苏乔州215000

出　　处：《化工中间体》2015年第9期86-86,共1页

摘　　要：本文主要介绍光致抗蚀剂用光产酸剂的专利研究发展情况。

关 键 词：光致抗蚀剂 光产酸剂 

分 类 号：O6[理学—化学]