离子束溅射制备的C-N薄膜  

作　　者：田永君[1] 任学军[1] 于栋利[1] 何巨龙[1] 曾华荣 陈世镇[1] 李东春[1] 禹日成[2] 张明[2] 张君[2] 王文魁[2] 

机构地区：[1]燕山大学材料系,秦皇岛066004 [2]中国科学院物理研究所,北京100080

出　　处：《科学通报》1996年第12期1139-1142,共4页Chinese Science Bulletin

摘　　要：Liu和Cohen采用经验模型和从头计算法计算了假想结构共价键化合物β-C3N4的弹性模量和结构性能。结果表明:该种共价键化合物的弹性模量与金刚石相当,其结构至少是亚稳态的,该种材料不仅具有高硬度,而且具有良好的导热性和热稳定性。为此,这种新型超硬材料受到了普遍关注,人们开始采用不同的实验方法合成β-C3N4.Wixom利用含氮的有机化合物进行冲击波合成,结果只得到了一些金刚石颗粒;Maya等人采用几种含氮的有机化合物进行高温热解,也未观察到碳氮成键的迹象。采用磁控溅射法合成β-C3N4时,得到的是非晶的C-N薄膜,其中含有极少量的纳米晶体。最近,Niu等人报道:采用脉冲激光蒸发高纯石墨并通进原子氮可制备出含有β-C3N4晶相的碳氮薄膜,薄膜中的氮含量可以达到40％。Gouzman等人采用低能氮离子注入到石墨表面,结果观察到氮的化合态,说明了β-C3N4的存在。

关 键 词：薄膜 离子束溅射 制备 C-N薄膜 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理]