高精度智能三维轮廓测量仪  

作　　者：戴蓉[1] 谢铁邦[1] 常素萍[1] 

机构地区：[1]华中科技大学机械科学与工程学院

出　　处：《机械制造》2006年第6期67-68,共2页Machinery

基　　金：国家自然科学基金资助项目(编号:50175037)

摘　　要：介绍了基于国产6JA干涉显微镜的智能三维轮廓测量仪。仪器的垂直测量范围达80μm,垂直分辨率达1nm;仪器可用于多种材料、多种形状的轮廓测量,只需几秒钟即可完成一个取样表面的二维和三维自动测量与评定。给出了对标准样板的测量结果,实验表明仪器总测量误差小于5%。

关 键 词：干涉显微镜 三维轮廓测量 白光扫描干涉术 

分 类 号：TH741.3[机械工程—光学工程]