微机械电子系统中的摩擦磨损及研究方向  

Friction, Erosion and Research Direction in MEMS

作　　者：李晓颖[1] 韩彦彬[2] 

机构地区：[1]河北理工大学计控学院,河北唐山063009 [2]空军工程大学工程学院,陕西西安710038

出　　处：《现代机械》2006年第3期82-83,共2页Modern Machinery

摘　　要：介绍了微机械电子系统的概念,分析了微机电系统的摩擦磨损机理。结合近年来研究成果,根据微机电与传统机械摩擦磨损的不同,总结出了微机械电子系统摩擦磨损设计中的研究方向。the concent of micro electro - mechanical system was introduced, aria then the friction mechanical theory of micro electro - mechanical system also was analysed in the paper, at the basis of the different aspect of MEMS firciton and traditional friction, the recent latest research achievement was adonted. Finlly, the friction research direction in MEMS was summed up fully.

关 键 词：微机械电子系统 微机电系统摩擦 摩擦磨损研究方向 

分 类 号：TH-39[机械工程]