MEMSic加速度传感器在气体微流量检测中的应用  

Application of MEMSic Acceleration Sensor to Detection of Slim Gas Flow

作　　者：林引[1] 谢昭莉[1] 陈皎[1] 

机构地区：[1]重庆大学自动化学院,重庆

出　　处：《自动化信息》2006年第6期33-34,40,共3页Automation Information

摘　　要：根据MEMSic（微电子机械系统集成芯片）加速度传感器的工作原理及特点，将其应用于气体微流量检测中。经过具体实验验证，在不同温度下，采取一定的温度补偿措施，在气体流量从0到50sccm的变化范围内，MEMSic加速度传感器能够精确地测量出变化，说明了MEMSic加速度传感器对徽流量的检测具有较高的灵敏度和稳定性。According to the principle and characteristics of the MEMSic acceleration sensor, takes it to the application of detecting the gas slim flow. The results have been proven effective through experimentation. It can accurately measure changes in gas flow range from 0 to 50 standard cubic centimeters＂ per minute （SCCM） by compensating for errors of varied temperature. It demonstrates that the MEMSic acceleration sensor has higher sensitivity and stability within the range of micro gas flow.

关 键 词：微电子机械系统 微流量 补偿 灵敏度 稳定性 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH814[自动化与计算机技术—控制科学与工程]