垂直凝固法(VF)生长砷化镓单晶  

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作  者:宋萍[1] 王永鸿[1] 马碧春[1] 濮玉梅 

机构地区:[1]北京有色金属研究总院

出  处:《稀有金属》1996年第5期389-390,共2页Chinese Journal of Rare Metals

基  金:国家自然科学基金

摘  要:垂直凝固法(VF)生长砷化镓单晶宋萍王永鸿马碧春濮玉梅(北京有色金属研究总院100088)关键词:垂直凝固法(VF)砷化镓(一)引言砷化镓等Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料在高速发展的电子领域中起着重要的作用。电子器件的需求不断推动着单晶生长技术的发展。而...

关 键 词:垂直凝固法 砷化镓 单晶 

分 类 号:TN304.23[电子电信—物理电子学]

 

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