FSI国际收到美国领先的IC制造商多套MAGELLAN~浸泡式清洗系统订单  

作　　者：陈爱思 

出　　处：《电子与封装》2006年第7期45-45,共1页Electronics & Packaging

摘　　要：FSI国际有限公司日前宣布：一家世界领先的美国IC制造商已经向其发出一份订单，订购多套该公司的200／300mmMAGELLAN浸泡式清洗系统，此项订单缘于MAGELLAN系统领先同类产品的微粒去除能力及刻蚀均匀度。MAGELLAN系统是一个200／300ram混用型机台，它为应对高级IC研发和制造所带来的挑战而专门设计。其领先业界的性能源于FSI独有的表面张力剃度（STG刑）清洗／干燥、SymFlowTM刻蚀和MegaLensTM超音波技术。

关 键 词：清洗系统 MAGELLAN 制造商 FSI 订单 IC 浸泡 美国 国际 LAN系统 

分 类 号：TN912.26[电子电信—通信与信息系统] TK264.11[电子电信—信息与通信工程]