高精度压印机热误差补偿中温度变量的辨识  

Temperature Variable Recognition for Thermal Error Compensation in High Precision Imprint

作　　者：严乐[1] 刘红忠[1] 卢秉恒[1] 丁玉成[1] 

机构地区：[1]西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室

出　　处：《西安交通大学学报》2006年第7期827-830,840,共5页Journal of Xi'an Jiaotong University

基　　金：国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716203;2003CB716202);国家自然科学基金资助项目(50505037);中国博士生科学基金资助项目(2005037242)

摘　　要：为了提高压印机在压印光刻工艺中的套刻对准精度,提出了采用因子分析方法来选取压印机热误差模型中的温度变量,根据变量之间的相关性分组后,再根据各变量与热误差之间的相关性在每一组中选取一个代表变量,最终将压印机上布置的温度传感器从15个减少到3个.在压印机温度测量关键点处建立了温度与模具在x、z方向热误差关系的数学模型,模型的热误差预测精度达到了98%以上.实验结果表明,该方法不仅保证了模型的精度,而且大大地减少了模型的计算时间,是一种在压印机热误差建模中选择温度测量关键点的有效方法.它不仅避免了热误差建模过程中的变量耦合问题,而且提高了模型的精确性,经过补偿,压印机的热误差在x、z方向都减小到200 nm以内.To increase alignment precision of overlay imprint lithography, factor analysis method is adopted to select the temperature variable of thermal error model. All the temperature variables are grouped according to their correlation coefficients. One of the variables in each group is selected to represent its situated group, which strongly correlates with the thermal errors of the imprint tools, thus the temperature variables can be reduced from 15 to 3. A model is proposed to predict the thermal errors with an accuracy up to 98% in x and z directions respectively. This highly accurate predictor enables to effectively remove the coupling among the variables to limit thermal errors in x and z directions within 200 nm.

关 键 词：压印光刻 压印机 套刻对准精度 因子分析 热误差补偿 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]