严乐

作品数：13被引量：23H指数：3
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供职机构：北京信息科技大学机电工程学院更多>>
发文主题：压印光刻热误差抗蚀剂纳米压印光刻高保真度更多>>
发文领域：机械工程电子电信文化科学语言文字更多>>
发文期刊：《西安交通大学学报》《北京信息科技大学学报（自然科学版）》《中国电力教育（中）》《机械设计与制造》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
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基于CDIO理念的机械基础课程培养模式研究
《中国电力教育》2013年第9期97-98,共2页严乐 米洁 
2012年北京信息科技大学教学改革项目(项目编号:2012JGYB05)的研究成果
分析了机械设计专业在课程设计、毕业设计和相关基础类课程教学过程中存在的问题,把CDIO工程教育思想"构思-设计-实现-运作"贯穿于这些课程的教学和实践中,提出了理论、实践相结合的教学改革方案,增强了学生学习的积极性,培养了学生综...
关键词：CDIO 机械课程 能力培养 实践 
非机械类专业“机械设计基础”课程的教学改革被引量：1
《中国电力教育》2012年第6期42-43,共2页严乐 
分析了非机械类"机械设计基础"课程教学过程中存在的问题,结合课程的特点和学生的实际情况,就该课程的教学内容和手段、实践教学和考核方式等方面进行了改革和探索。运用多种教学手段丰富教学内容,提高教学效果;设置实验教学环节以提高...
关键词：机械设计基础 教学改革 实践教学 
高保真度压印光刻图形质量研究
《北京信息科技大学学报（自然科学版）》2012年第1期31-34,共4页严乐 卢秉恒 
为提高纳米压印工艺的图形质量,在抗蚀剂涂铺之前,对硅基材料进行氧离子轰击表面改性,有效增强硅基材料对抗蚀剂的亲和性;采用PDMS软模具,脱模性能好,而且能够很好的清除图型母版和自身表面的杂质;利用高保真度加载工艺,图型横向和纵向...
关键词：压印光刻 高保真度 模具 压印工艺 热误差 
校园公共空间模型
《山西建筑》2011年第32期2-4,共3页侯悦民 严乐 高宏 
北京信息科技大学高教研究重点课题资助
分析了公共空间的特性以及发展创造力的环境因素,提出公共空间可以作为发展创造力的平台,为此公共空间需要三个核心要素:通道、信息和服务,详细讨论了三个要素的组成,提出了公共空间模型。
关键词：创造力 公共空间 模型 
利用公共空间展现和孵化创造力被引量：1
《中国电力教育（中）》2011年第9期18-19,共2页侯悦民 严乐 高宏 
北京信息科技大学高教研究重点课题(2010-2011)的研究成果
创造力是职业成功以及国家发展不可或缺的要素。与生产产品的机械过程不同,创造力不可能通过几次竞赛和几门课程速成,培养创造力需要利用多种资源和信息潜移默化地引导和浸透。校园公共空间可以有效地提供简单易行的信息流动和交往空间...
关键词：创造性智力 公共空间 孵化 
纳米压印光刻中抗蚀剂膜厚控制研究被引量：2
《机械设计与制造》2010年第4期201-203,共3页严乐 李寒松 刘红忠 卢秉恒 
研究了纳米压印光刻匀胶工艺中抗蚀剂膜厚与抗蚀剂粘度、匀胶转速、匀胶时间和滴胶量之间的关系。实验研究表明,抗蚀剂膜厚与抗蚀剂粘度、匀胶转速和匀胶时间均呈幂指数关系;当匀胶转速达到一定值,匀胶时间足够大时,膜厚不再随匀胶时间...
关键词：纳米压印光刻 抗蚀剂 匀胶 膜厚控制 
高精度压印机热误差补偿中温度变量的辨识被引量：5
《西安交通大学学报》2006年第7期827-830,840,共5页严乐 刘红忠 卢秉恒 丁玉成 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716203;2003CB716202);国家自然科学基金资助项目(50505037);中国博士生科学基金资助项目(2005037242)
为了提高压印机在压印光刻工艺中的套刻对准精度,提出了采用因子分析方法来选取压印机热误差模型中的温度变量,根据变量之间的相关性分组后,再根据各变量与热误差之间的相关性在每一组中选取一个代表变量,最终将压印机上布置的温度传感...
关键词：压印光刻 压印机 套刻对准精度 因子分析 热误差补偿 
高保真度五步加载纳米压印光刻的研究被引量：2
《西安交通大学学报》2005年第9期933-936,共4页严乐 刘红忠 丁玉成 卢秉恒 
国家重点基础研究发展规划资助项目(2003CB716202);国家高技术研究发展计划重点资助项目(2002AA420050);国家自然科学基金资助项目(50275118).
从理论上建立了压印光刻工艺中留膜厚度与压印力的关系,为压印预设曲线的建立提供了理论依据.基于液态光敏抗蚀剂在紫外光照射下发生光固化反应这一特性,对固化过程进行了详细的分析,建立了抗蚀剂的固化深度与紫外光曝光量之间的关系....
关键词：压印光刻 加载 抗蚀剂 高保真度 
高精度步进压印机热误差的建模分析被引量：1
《西安交通大学学报》2005年第5期526-530,共5页严乐 卢秉恒 丁玉成 刘红忠 
国家重点基础研究发展规划资助项目(2003GB716202);国家高技术研究发展计划重点资助项目(2002AA20050);国家自然科学基金资助项目(5027118)
为了消除由紫外光曝光所引起的步进压印机的热误差,以提高压印机的套刻对准精度,运用逐步回归分析法选取了压印机上温度测量点的数量,将压印机上布置的温度传感器从15 个减少到6 个,并建立了压印机温度测量关键点处的温度与压头在x、z...
关键词：印光刻 步进压印机 热误差 温度场 建模 
高精度压印机压印轴的热误差分析
《西安交通大学学报》2004年第9期909-912,共4页严乐 卢秉恒 丁玉成 刘红忠 
国家重点基础研究发展计划资助项目 (2 0 0 3CB71 62 0 2 );国家高技术研究发展计划重点资助项目 (2 0 0 2AA42 0 0 50 );国家自然科学基金资助项目 (50 2 751 1 8)
在压印光刻工艺中,针对压印机由于温度变化而引起的热误差,通过建立压印机压印轴有限元分析模型,对其温度分布进行了仿真计算.采用高斯求积法优化了温度传感器的位置和数量,选取了1个热源点和2个高斯点作为测温关键点,建立了压印轴测温...
关键词：压印光刻 热误差 温度场 有限元 
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