新型纳机电热探针阵列器件数据存储技术研究  

Data storage technology for a novel nanomechanical electro-thermal probe array

作　　者：杨尊先[1] 于映[1] 林丽华[1] 李昕欣[2] 

机构地区：[1]福州大学电子科学与应用物理系,福州350002 [2]中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室,上海200050

出　　处：《仪器仪表学报》2006年第7期693-697,共5页Chinese Journal of Scientific Instrument

基　　金：国家自然科学基金(60376038);福建省自然科学基金(A0310012;A0510011);福州大学科技发展基金(2005-XQ-26);福建省教育厅科学基金(JB04042;JB05068)资助项目

摘　　要：对自行研制的一种新型压阻敏感器和电阻加热器一体集成的纳机电热探针阵列传感器进行了存储特性研究。首先对器件电热特性和敏感特性进行测试,测试结果与模拟结果相吻合。在此基础上,进行数据存储测试,借助原子力学显微镜在聚合物有机薄膜上实现了数据写入,并研究了脉冲电压、脉冲宽度及其施加于探针上的力载荷对存储效果的影响,优化写入条件后,数据记录面密度达31.6GB/in2.To meet ultra-high density requirement of next-generation data storage, the storage performance of a novel self-made nanomechanical electro-thermal probe array integrating a piezoresistive sensor and a resistance heater was investigated. Firstly, the electro-thermal performance and sensitivity characteristic were tested, and the test results were well consistent with those simulated. After studying the influences of pulse voltage, pulse width and applied force on the data-writing, about 31.6GB/in2 data-recording den- sity was realized successfully on PMMA（polymethyl methacrylate） polymer film by using AFM（atomic force microscope） equipment with the optimized thermal writing parameters.

关 键 词：纳米针尖 集成探针阵列 存储特性 电阻加热器 

分 类 号：TP212.6[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]