涡轮分子泵的压缩比和泄漏  

作　　者：Casaro,F 王兰 

出　　处：《四川真空》1996年第1期34-40,共7页

摘　　要：涡轮分子泵中存在着通过分子泵各级的泄漏现象，影响了分子泵实际的压缩比。如果在计算压缩比时不考虑这个影响，那么实际测得的压缩比大多远小于计算所得。对于从高压强级到低压强级的泄漏所产生的影响，本文作了一个理论估算。提出了一个简单模型亚计算泄漏引起的压缩比的降低。

关 键 词：涡轮分子泵 分子真空泵 压缩比 泄漏 

分 类 号：TB752.27[一般工业技术—真空技术]