热阴极电离规测量和使用中注意的问题  

作　　者：李正海[1] 

机构地区：[1]兰州物理研究所

出　　处：《真空与低温》1996年第2期109-111,共3页Vacuum and Cryogenics

摘　　要：热阴极电离规测量和使用中注意的问题李正海（兰州物理研究所．兰州７３００００）真空测量中．热阴极电离真空计是使用最广泛的一种，不同类型的电离规配合使用能够测量的压力范围，可以从低真空起到目前所能测量的最低压力。尤其在超高真空和极高真空区域中，热阴极电离...

关 键 词：真空测量 热阴极 电离真空计 电离规 

分 类 号：TB772.3[一般工业技术—真空技术]