GaN半导体光电材料规模化关键生产技术检测设备  

出　　处：《现代材料动态》2006年第8期22-22,共1页Information of Advanced Materials

摘　　要：LED外延片检测系统主要用于GaN发光二极管外延片的在线检测。该系统利用光致发光原理，通过对荧光光谱等参数的采集，经过光谱仪，由线阵CCD获得荧光光谱，再经计算机分析计算获得外延片的荧光光强、峰值波长、光谱半宽、主波长图和各种统计结果，以mapping形式显示分布图及数据，并可获得相应的截面分布图和显示单点光谱；显示各个参数的统计结果，显示选择范围的各项统计参数；有离线处理软件及根据用户要求进一步完善的软件等。该设备还可以完成局部扫描，对扫描结果可以进行去孤立点、去掉某一点和去边等处理。该设备利用自光反射谱，获得外延层膜厚度等参数，从而获得外延片质量分析所需要的信息。其全部检测及数据处理由计算机自动完成。该设备在检测速度、质量及稳定性等方面达到或超过国际水平，软件方面独具特色。目前，该设备已经成功应用于多条生产线，是外延片生长工艺改进的重要依据，也是外延片质量标准的重要依据。

关 键 词：检测设备 半导体光电材料 GAN 生产技术 LED外延片 规模化 荧光光谱 统计参数 处理软件 

分 类 号：TN365[电子电信—物理电子学]