梳齿式微机械陀螺支撑系统的结构仿真与分析  

Structure Simulation and Analysis for the Support System of Comb Micromechanical Gyros

作　　者：李林[1] 李锦明[1] 张文栋[1] 

机构地区：[1]中北大学电子科学与技术系仪器与动态测试教育部重点实验室,太原030051

出　　处：《传感技术学报》2006年第4期1144-1147,共4页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50375050)

摘　　要：微机械陀螺是利用哥氏(wriolis)效应测量角速度的一种角速率传感器。提出一种梳齿式微机械陀螺结构,并且使用有限元仿真软件ANSYS对陀螺中的关键部件———支承梁进行结构仿真,在仿真过程中分别采用了整体建模和简化建模的方法对支撑梁的弹性系数进行了分析比较,最终得出可以采用简化模型代替整体模型对微机械陀螺中的支撑梁进行分析的结论,为陀螺支撑系统的仿真和分析提出了新的思路。The micromechanical gyroscope is a kind of angular rate sensor which making use of the coriolis effect to measure angular rate. This paper introduces a structure of comb micromechanical gyroscope, and uses the FEA （Finite Element Analysis） soft ware ANSYS to simulate the structure of support beam which is the most important parts in gyroscope. By using solid mode and sihaple mode these two different methods get a new way to simulate a complex structure by simple method.

关 键 词：角速率传感器 微机械陀螺 梳齿式 有限元分析 弹性系数 

分 类 号：TP212.12[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]