周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率  

Soft X-Ray Reflectivity of Periodic Graded-index Multilayers

作　　者：秦俊岭[1,2] 易葵[1] 邵建达[1] 范正修[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所 [2]中国科学院研究生院,北京100039

出　　处：《光子学报》2006年第8期1191-1193,共3页Acta Photonica Sinica

基　　金：国家高技术研究发展计划(863-804-7)资助项目

摘　　要：由于界面互扩散的存在,实际的超薄多层膜很难具有清晰的界面结构.假设超薄多层膜为具有周期性梯度折射率的多层膜结构,用直线模型和余弦模型模拟了周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率.结果证明,折射率余弦渐变的多层膜虽然不具有清晰的界面,但它同样具有很高的反射率.Actual ultra thin multilayers are difficult to have a clear-cut interface due to interface interdiffusion. It is assumed that ultra thin Multilayers have a periodic graded-index multilayer structure. A line model and a cosine model are used to simulate soft X-ray reflectivity of periodic graded-index multilayers. The simulations show that periodic graded-index multilayers with cosine model have a higher reflectivitv, it＇s significative for design of ultra thin Multilayers.

关 键 词：余弦模型 梯度折射率 多层膜 软X射线反射率 

分 类 号：O484.5[理学—固体物理]