秦俊岭

作品数：5被引量：18H指数：3
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供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：软X射线MO/SI多层膜反射率MO/SIMO更多>>
发文领域：理学机械工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《光子学报》《功能材料与器件学报》《强激光与粒子束》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划教育部“同步辐射博士生创新中心”研究生创新基金更多>>
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Mo/Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究被引量：6
《强激光与粒子束》2007年第5期763-766,共4页秦俊岭 邵建达 易葵 周洪军 霍同林 范正修 
国家863计划项目资助课题;教育部"同步辐射博士生创新中心"研究生创新基金资助课题
用磁控溅射法分别制备了以Mo膜层和Si膜层为顶层的Mo/Si多层膜系列,利用小角X射线衍射确定了各多层膜的周期厚度。以不同周期数的Mo/Si多层膜的新鲜表面近似等同于同一多层膜的内界面,通过原子力显微镜研究了多层膜界面粗糙度随膜层数...
关键词：MO/SI多层膜 软X射线 界面粗糙度 反射率 
研究扩散屏障层对Mo/Si多层膜软X射线反射率影响的模拟被引量：6
《光子学报》2007年第2期300-303,共4页秦俊岭 邵建达 易葵 范正修 
国家高技术研究发展计划(2005AA847033)资助
在特定波长下,用四层结构模型模拟了Mo/Si多层膜的软X射线反射率.研究了扩散屏障层dMo-on-Si和dSi-on-Mo对Mo/Si多层膜软X射线反射率的影响.研究发现,扩散屏障层并不总是损害Mo/Si多层膜的光学性能,通过合理设计dMo-on-Si和dSi-on-Mo厚...
关键词：软X射线 多层膜 扩散屏障层 MO/SI 反射率 模拟 
用不同的Mo靶溅射功率制备Mo/Si多层膜被引量：10
《强激光与粒子束》2007年第1期67-70,共4页秦俊岭 邵建达 易葵 
国家863计划项目资助课题
用磁控溅射法制备了周期厚度和周期数均相同的Mo/Si多层膜,用原子力显微镜和小角X射线衍射分别研究了Mo靶溅射功率不相同时,Mo/Si多层膜表面形貌和晶相的变化。随后在国家同步辐射实验室测量了Mo/Si多层膜的软X射线反射率。研究发现,随...
关键词：Mo靶 MO/SI多层膜 溅射功率 软X射线 反射率 
周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率被引量：1
《光子学报》2006年第8期1191-1193,共3页秦俊岭 易葵 邵建达 范正修 
国家高技术研究发展计划(863-804-7)资助项目
由于界面互扩散的存在,实际的超薄多层膜很难具有清晰的界面结构.假设超薄多层膜为具有周期性梯度折射率的多层膜结构,用直线模型和余弦模型模拟了周期性梯度折射率多层膜的软X射线反射率.结果证明,折射率余弦渐变的多层膜虽然不具有清...
关键词：余弦模型 梯度折射率 多层膜 软X射线反射率 
Mo原子溅射能量对Mo/Si薄膜微结构的影响被引量：2
《功能材料与器件学报》2006年第2期81-85,共5页秦俊岭 易葵 邵建达 
教育部"同步辐射博士生创新中心"研究生创新基金资助
用磁控溅射法制备了Mo/Si薄膜,用AFM和XRD分别研究了Mo原子的溅射能量不同时,Mo/Si薄膜表面形貌和晶相的变化。通过比较发现,随着Mo原子溅射能量的增大,Mo/Si薄膜表面粗糙度增加,Mo和Si的特征X射线衍射峰也越来越强,并且Mo膜层和Si膜层...
关键词：MO/SI MOSI2 溅射能量 
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