MO/SI

作品数：67被引量：142H指数：7
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HPMo/SiO_(2)/Fe催化剂的合成及催化氧化脱硫研究
《精细石油化工》2024年第6期47-52,共6页孙方力 崔亮 闫锋 王新东 吴田甜 
国家科技重大专项课题(2016ZX05010-004-005)。
合成了一种介孔二氧化硅负载磷钼酸(HPMo/SiO_(2))并掺杂金属铁的改性固体催化剂,采用XRD,FT-IR,BET和XPS对其进行表征。将其用于模拟汽油的催化氧化脱硫过程,考察了工艺条件对脱硫性能的影响。结果表明:当Fe负载量为6%、反应时间为60 ...
关键词：磷钼酸 模拟汽油 催化氧化 脱硫 循环使用 
HPMo/SiO_(2)/Ni催化剂的合成及催化氧化脱硫研究
《现代化工》2024年第8期135-139,共5页孙方力 闫锋 吴田甜 刘宇新 
国家科技重大专项课题(2016ZX05010-004-005)。
合成了一种介孔二氧化硅负载磷钼酸(HPMo/SiO_(2))并掺杂金属镍的固体催化剂,利用XRD、FT-IR和BET对其进行表征。在对模拟汽油的催化氧化脱硫过程中,考察了催化剂质量、反应时间、反应温度以及Ni负载量、萃取时间、氧硫摩尔比等因素对...
关键词：磷钼酸 催化氧化 模拟汽油 脱硫 循环使用 
基于高频率公转速度变化策略的极紫外多层膜均匀性研究
《长春理工大学学报（自然科学版）》2024年第3期1-9,共9页徐国华 韩伟明 王佳兴 宋晓伟 
国家自然科学基金(U22A2070,62175018);重庆市科技局自然基金(CSTB2023NSCQ-MSX0302)。
应用自研高真空磁控溅射镀膜系统,在高反射率和高均匀性极紫外Mo/Si多层膜方面开展实验研究。采用高速匀速自转和调节公转转速相结合的行星运行式镀膜方法,在高频率公转速度变化策略下,实现了多层膜周期厚度的较高均匀性。实验结果表明...
关键词：磁控溅射 MO/SI多层膜 极紫外 膜厚均匀性 制备技术 
极紫外光源用大口径Mo/Si多层膜厚度控制与热稳定性研究
《中国激光》2024年第7期187-195,共9页刘翔月 张哲 蒋励 宋洪萱 姚殿祥 黄思怡 徐文杰 霍同林 周洪军 齐润泽 黄秋实 张众 王占山 
国家自然科学基金(12204353,12075170,U2030111)。
Mo/Si多层膜是13.5 nm极紫外波段理想的反射镜膜系,它与极紫外光源的结合使得极紫外光刻成为了目前最先进的制造手段之一。极紫外光源的实际应用对Mo/Si多层膜提出了高反射率、高热稳定性、抗辐照损伤、大口径等诸多要求。针对极紫外光...
关键词：激光光学 极紫外光源 MO/SI多层膜 磁控溅射 膜厚控制 热稳定性 
激光熔覆制备CoCrFeNiMo/SiC涂层结构及摩擦性能分析被引量：5
《应用激光》2022年第5期135-140,共6页杨长征 时小广 郁录平 曾庆仪 
河南省高等学校青年骨干教师培养计划项目(2017GGJS241)。
以内燃机用45Cr钢为基底,通过激光熔覆制得加入SiC颗粒的CoCrFeNiMo/SiC高熵合金涂层,对比分析第1亚层CoCrFeNiMo(S1),第2亚层CoCrFeNiMo与10%SiC(S2),第3亚层CoCrFeNiMo与20%SiC(S3)的组织形态、力学特性与耐磨损性能的差异性与影响因...
关键词：激光熔覆 高熵合金 梯度结构 维氏硬度 摩擦磨损 
FeNiMo/SiO_(2)复合粉芯的制备与软磁性能调控被引量：3
《物理学报》2022年第15期248-256,共9页熊政伟 杨江 王雨 杨陆 管弦 曹林洪 王进 高志鹏 
国家自然科学基金(批准号:11904299,U1930124)资助的课题。
目前金属软磁粉芯材料在高频电感等电子元件的应用前景广阔,然而其主要的构成元素属于过渡金属,表面易形成致密的氧化层,影响其软磁性能的调控.为了解决这些问题,本文引入H_(2)/Ar混合气体高温预处理工艺对FeNiMo原粉进行还原,证实了还...
关键词：FeNiMo SiO_(2)包覆 热处理 磁性能 
月基极紫外相机Mo/Si多层膜反射镜的空间质子辐照稳定性被引量：1
《激光杂志》2021年第11期24-29,共6页李云鹏 陈波 吕鹏 杨洪臣 王华朋 
国家重点研发计划项目(No.2017YFC0821000);辽宁省自然科学基金计划重点项目(No20180540048);中央高校基本科研业务费中国刑事警察学院项目(No.D2017020);辽宁省教育厅科学研究经费项目(No.ZGXJ2020008)。
为研究月基极紫外相机Mo/Si多层膜反射镜能否在月面辐照环境下长期稳定工作,从理论仿真、光学性能、微观形貌三方面对其辐照稳定性进行了研究。采用Monte-Carlo方法模拟了不同能量质子束辐照Mo/Si多层膜后薄膜内部的损伤情况,结果表明:...
关键词：MO/SI多层膜 质子辐照 反射率 等离子体层 
Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究被引量：2
《光学学报》2020年第11期40-47,共8页孙诗壮 金春水 喻波 郭涛 姚舜 李春 邓文渊 
国家自然科学基金(61605201,21603211)。
使用分子动力学方法计算了Mo、Si原子发生反射和再溅射的概率,以及原子的反射、再溅射角度和能量分布。考虑了四种碰撞:Mo原子与Mo基底碰撞、Mo原子与Si基底碰撞、Si原子与Si基底碰撞、Si原子与Mo基底碰撞。模拟发现,当沉积原子传递给...
关键词：原子与分子物理学 分子动力学 反射 再溅射 Mo/Si原子 角度分布 能量分布 
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究被引量：4
《光学学报》2020年第10期190-196,共7页孙诗壮 金春水 喻波 郭涛 姚舜 李春 邓文渊 
国家自然科学基金(61605201,21603211)。
Mo/Si多层膜镀膜工艺是极紫外光刻的关键技术之一,为了优化并提升Mo/Si多层膜的镀膜工艺,研究了气压、靶-基底间距这两个工艺参数对Mo/Si多层膜表面粗糙度的影响。根据磁控溅射物理过程,建立了一个原子沉积的物理模型,分析了原子沉积到...
关键词：薄膜 MO/SI多层膜 极紫外光刻 磁控溅射 表面粗糙度 功率谱密度 
13nm窄带Si／Mo／C多层膜反射镜
《强激光与粒子束》2016年第12期14-19,共6页易强 黄秋实 王香梅 杨洋 张众 王占山 徐荣昆 彭太平 周洪军 霍同林 
国家自然科学基金项目(11443007,11505129,U1430131);国家重大科学仪器设备开发项目(2012YQ13012505,2012YQ24026402);上海市浦江人才计划(15PJ1408000)
基于多层膜准单色覆盖50-1500eV能谱的多能点发射光谱测量系统可获得“聚龙一号”装置Z-pinch等离子体X射线源的能谱结构和总能量等信息。考虑装置的条件,在13nm处的多层膜需要工作在掠入射角60°。常规的Mo/Si多层膜尽管反射率最高,但...
关键词：多层膜 MO/SI Si/Mo/C Z-PINCH 光谱诊断 反射率 带宽 
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