TFT-LCD取向层工艺及其关键参数  

TFT-LCD's Oriented Layer Technology and It's Key Parameters

作　　者：车春城[1] 王丹[2] 李军建[1] 

机构地区：[1]中国电子科技大学,四川成都610054 [2]北京京东方光电科技有限公司,北京100176

出　　处：《现代显示》2006年第9期20-23,12,共5页Advanced Display

摘　　要：综述了国内最先进的第5代TFT-LCD生产线的取向膜工艺。并探讨了各取向膜工艺参数对取向膜厚度和预倾角大小的影响,从而根据产品设计需要改变工艺参数指导实际生产。TOverview the oriented polyimide layer technology in the 5th generation TFT-LCD production lines .This article analyzes the parameters＇influence on film thickness and pretilt angle in the oriented polyimide layer technology. And it will be a reference to the actual production.

关 键 词：取向层 聚酰亚胺膜 涂布 摩擦 膜厚 预倾角 

分 类 号：TN141.9[电子电信—物理电子学]