粉末溅射平面薄膜型SnO_2／CeO_2酒敏元件  

Powder Sputtering Plane Thin-film SnO_2/CeO_2 Alcohol Sensor

作　　者：刘晓健 曲鲁 李东华 卫东 裘南畹[2] 

机构地区：[1]济南半导体研究所,山东济南250014 [2]山东大学,山东济南250061

出　　处：《计测技术》2006年第B09期71-74,共4页Metrology & Measurement Technology

摘　　要：介绍了用粉末溅射做出的两种平面薄膜型酒敏元件的工艺、芯片结构和基本参数测试的结果。The technics of two kinds of thin film gas sensors made by powder sputtering are introduced. The structure and the experimental results of basic parameters are given in this paper.

关 键 词：粉末溅射 薄膜 酒敏元件 

分 类 号：TN379[电子电信—物理电子学] TN304.21