粉末溅射

作品数：18被引量：23H指数：3
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粉末溅射金属氧化物气敏薄膜和元件 Ⅰ.粉末溅射金属氧化物气敏薄膜
《山东大学学报（工学版）》2008年第5期99-101,106,共4页田芳 郭晓丽 张颖欣 王倩 裘南畹 
国家自然科学基金资助项目(60372030);山东省火炬计划资助项目(111600/04040214)
利用反溅,发展了粉末溅射工艺;指出了粉末溅射对研制稳定的薄膜气敏元件的重要性;给出了粉末掺杂比与薄膜掺杂比关系的实验结果;给出了SnO2(100-x)/CeO2(x)最佳灵敏度的掺杂x%的范围;给出了灵敏度随膜厚变化的特征,以及一些薄膜的最佳膜...
关键词：粉末溅射 最佳膜厚 响应时间 
ZnO气敏薄膜的实用化——一种新的气敏基材料
《功能材料与器件学报》2007年第6期640-644,共5页黄少艳 邢建平 李长庆 徐勇 裘南畹 
国家自然科学基金(No.60372030);山东省火炬计划项目(No.111600/04040214)
ZnO薄膜是最早发现有良好气敏特性,并且也是最早(1962)被提出用它来研制气敏元件的金属氧化物气敏基材料;然而近半个世纪以来没有实现。最近通过用粉末溅射解决气敏层的掺杂稳定性;通过选择合适的绝缘衬底(Al_2O_3)和适当选择溅射参数...
关键词：ZNO薄膜 粉末溅射 双点焊 
粉末溅射ZnO薄膜酒敏元件
《山东大学学报（工学版）》2007年第1期111-114,共4页周磊 邢建平 周晨 洪德斌 裘南畹 
国家自然科学基金项目(60372036);山东火炬计划项目(111600/04040214)
针对金属氧化物薄膜气敏元件传统制造工艺中存在的掺杂不稳问题,开发了一种实用化的ZnO薄膜气敏基材料.采用粉末溅射法研制ZnO:1%CeO2薄膜,利用衬底Al2O3与ZnO晶体均为六方结构的特点,选择适当溅射参数研制出薄膜气敏元件,同时通过悬挂...
关键词：粉末溅射 薄膜 双点焊 
粉末溅射平面薄膜型SnO_2／CeO_2酒敏元件被引量：1
《计测技术》2006年第B09期71-74,共4页刘晓健 曲鲁 李东华 卫东 裘南畹 
介绍了用粉末溅射做出的两种平面薄膜型酒敏元件的工艺、芯片结构和基本参数测试的结果。
关键词：粉末溅射 薄膜 酒敏元件 
粉末溅射平面薄膜型SnO_2／CeO_2酒敏元件性能测试
《计测技术》2006年第B09期74-76,共3页洪德斌 陈慧凯 孙玉珍 于宗智 马捷 
给出了SnO2／10％CeO2(0．4 mm×0．6 mm×0．4 mm)元件的温耗特性曲线,研究了老化的温度和时间,研究了气敏电流Ig与气体浓度C的关系,并给出了一个普遍适用的规律。
关键词：温耗特性 老化 气敏电流 
采用粉末溅射的薄膜型气敏元件与测试特性
《电子元件与材料》2004年第12期47-50,共4页邢建平 蔡成森 滕丽丽 袁庆华 裘南畹 
利用粉末溅射,研究了SnO2/CeO2微型平面薄膜.结果表明:薄膜最佳掺杂范围(5%-20%)、最佳灵敏度膜厚(150 nm)、响应时间与恢复时间随膜厚变化遵循次方定律;制备出稳定性好的气敏元件,灵敏度S为20-80,对航空汽油气选择性Sl为8-20,响应时间...
关键词：电子技术 粉末溅射 薄膜 气敏元件 测试特性 
采用粉末溅射的SnO_2/CeO_2薄膜气敏材料及元件被引量：3
《功能材料与器件学报》2004年第4期475-478,共4页邢建平 蔡成森 李娟 孟令国 李秀宇 高红 
为改善气敏元件的性能,提高稳定性,采用粉末反溅研制了SnO2/CeO2乙醇敏感材料,结果表明:灵敏度在CeO2掺杂范围4%-32%、膜厚100-180nm时较佳,特征时间τ与膜厚l遵循τ∝l2规律,研制出乙醇灵敏度20-80、特征时间<15s的微型平面旁热式SnO2...
关键词：反溅 薄膜 气敏元件 
一种微型平面薄膜型酒敏器件的研制被引量：1
《传感技术学报》2004年第3期479-483,共5页邢建平 蔡成森 李娟 裘南畹 
粉末溅射有制靶简单、掺杂容易的特点 ,并有掺杂稳定的优点。利用反溅 ,发展了粉末溅射 ,制备了酒敏微型平面薄膜。对薄膜的相关特性进行了研究 ,给出了薄膜最佳掺杂范围、最佳灵敏度的膜厚以及响应时间与恢复时间随膜厚变化的规律 ,总...
关键词：粉末溅射 薄膜 酒敏 器件 
SnO_2:Pt薄膜和SnO_2/SnO_2:Pt双层膜气敏响应的次方因子
《山东大学学报（工学版）》2004年第1期115-119,共5页刘文利 李蕾 高建华 刘东红 
用粉末溅射方法制备了体掺杂型SnO2 :Pt薄膜和表面层掺杂SnO2 /SnO2 :Pt双层膜 ,测量了薄膜在不同CO体积分数下的灵敏度和电导 .研究了两种薄膜对CO响应的次方因子 ,测定了工作温度和薄膜厚度对次方因子的影响 .实验结果表明 ,由室温至 ...
关键词：薄膜 半导体膜 粉末溅射 气敏器件 
一种新型CO气敏双层薄膜材料被引量：4
《中国环境监测》2001年第5期46-48,共3页刘文利 俞琳 高建华 李蕾 
介绍了一种新型结构 CO气敏的半导体薄膜材料——粉末溅射方法制备的表面层掺杂 Sn O2 /Sn O2 ∶ Pt双层膜的气敏特性。分析了双层膜中的导电层厚度对气敏特性的影响 。
关键词：气敏双层薄膜材料 粉末溅射 薄膜 传感器 一氧化碳 半导体 大气监测 监测仪 
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