滕丽丽

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采用粉末溅射的薄膜型气敏元件与测试特性
《电子元件与材料》2004年第12期47-50,共4页邢建平 蔡成森 滕丽丽 袁庆华 裘南畹 
利用粉末溅射,研究了SnO2/CeO2微型平面薄膜.结果表明:薄膜最佳掺杂范围(5%-20%)、最佳灵敏度膜厚(150 nm)、响应时间与恢复时间随膜厚变化遵循次方定律;制备出稳定性好的气敏元件,灵敏度S为20-80,对航空汽油气选择性Sl为8-20,响应时间...
关键词：电子技术 粉末溅射 薄膜 气敏元件 测试特性 
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