微加速度传感器的结构刚度分析新法  

A NEW METHOD FOR CALCULATING THE MICROSTRUCTURE'S STIFFNESS IN AN ACCELEROMETER

作　　者：刘妤[1] 温志渝[1] 杨红韵[2] 张流强[1] 

机构地区：[1]重庆大学光电工程学院,重庆400044 [2]重庆工学院汽车学院,重庆400050

出　　处：《力学与实践》2006年第4期68-72,95,共6页Mechanics in Engineering

基　　金：国家自然科学基金项目(10176040)资助.

摘　　要：微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动态响应特性的一个重要参数．目前多采用有限元分析获取这一参数,但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式．针对自主开发设计的一种具有复杂微结构的加速度传感器,提出综合运用力法和能量法原理求解其主轴刚度,并通过仿真分析验证了理论推导．理论计算与仿真分析的结果有较好的一致性．该方法可推广应用于具有对称、静不定微结构的加速度传感器的刚度分析．The stiffness of microstructures is an important parameter for microsensor, This parameter is usually obtained by FEM approach, and it is difficult to obtain an analytical expression. In this paper, a kind of microaccelerometer with a complex microstructure is designed and its main-axial stiffness is obtained by force method and energy method. The theoretical results are compared with those of FEM approach with good agreement. This methodology is extended to the stiffness analysis of microaccelerometer with symmetric and statically indeterminate microstructures.

关 键 词：微加速度传感器 微结构 力法 能量法 主轴刚度 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TG659[自动化与计算机技术—控制科学与工程]