反应溅射ZrN/AlON纳米多层膜的晶体生长  

作　　者：岳建岭[1] 董云杉[1] 刘艳[1] 李戈扬[1] 

机构地区：[1]上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海200030

出　　处：《电子显微学报》2006年第B08期89-90,共2页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.50571062)

关 键 词：纳米多层膜 晶体生长 ALON 反应溅射 ZRN Al2O3 高温抗氧化性 技术路线 

分 类 号：TB383.1[一般工业技术—材料科学与工程]